[发明专利]平衡减震台

权利要求书

1.一种平衡减震台，其特征在于包括：基础框架、辅助平衡块、主平衡块、平面平衡机构、工作台以及两连杆矫正机构；

所述辅助平衡块一端面通过气浮轴承连接在基础框架上，另一端面与主平衡块通过气浮轴承连接；所述两连杆矫正机构包括两个连杆、两个力矩电机以及固定基座，两力矩电机之间通过所述两个连杆中的一个连杆连接，一个力矩电机上设置固定基座用以固定辅助平衡块，另一力矩电机通过所述两个连杆中的另一个连杆连接主平衡块；所述平面平衡机构设置在主平衡块上，并连接工作台。

2.如权利要求1所述的平衡减震台，其特征在于所述平面平衡机构包括X向直线电机、Y向直线电机、X向导轨、Y向导轨、以及Y向气浮轴承；

所述Y向直线电机和Y向导轨固定在主平衡块上；Y向气浮轴承在Y向导轨上滑动，并且与X向导轨连接；X向直线电机固定在X向导轨上。

3.如权利要求2所述的平衡减震台，其特征在于所述工作台由X向直线电机驱动，并通过气浮轴承与X向导轨相连。

4.如权利要求1所述的平衡减震台，其特征在于在基础框架上还设有机械手装置，用于平衡减震台的初始化和复位。

5.如权利要求1所述的平衡减震台，其特征在于基础框架上还设有激光干涉仪，通过激光干涉仪来测量工作台的绝对位置。