[发明专利]可切换工位的六自由度精密定位台

权利要求书

1.一种可切换工位的六自由度精密定位台，其特征在于：包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方；所述工位切换机构包括一气缸和两条导轨，所述气缸通过一转接件固连至吸版台，所述导轨固定在气浮板上表面，所述吸版台底部还设有两个滑块，并可通过滑块沿导轨滑动。

2.如权利要求1所述的精密定位台，其特征在于：所述精密定位台包括三个水平向微调机构，均水平安装在底座上，该三个水平向微调机构以两个、一个为组分别安装在气浮板上相邻的两侧，且两组水平向微调机构相互垂直。

3.如权利要求2所述的精密定位台，其特征在于：所述三个水平向微调机构的中心与掩模版上所使用的图形中心重合。

4.如权利要求2所述的精密定位台，其特征在于：所述水平向微调机构由旋转电机、联轴器、丝杠和螺杆依次连接而成。

5.如权利要求4所述的精密定位台，其特征在于：所述旋转电机与联轴器之间还设有一连接板，所述连接板与所述气浮板通过拉簧连接，并通过拉簧的拉力使螺杆前端接触气浮板。

6.如权利要求4所述的精密定位台，其特征在于：所述螺杆的前端呈球头状，和气浮板接触并可在气浮板侧面滑动。

7.如权利要求4所述的精密定位台，其特征在于：所述螺杆的前端是滚轮结构，可以在气浮板侧面滚动。

8.如权利要求1所述的精密定位台，其特征在于：所述精密定位台包括三个垂向调节机构，按三角形分布于所述底座下方。

9.如权利要求1所述的精密定位台，其特征在于：所述垂向调节机构由凸轮和滚轮构成，所述滚轮的中心轴呈水平向设置，且该中心轴通过固定件固定至底座，所述滚轮与凸轮相互咬合，且所述凸轮还连接至一驱动电机。

10.如权利要求9所述的精密定位台，其特征在于：所述滚轮是桶形的。

11.如权利要求1所述的精密定位台，其特征在于：所述垂向调节机构是可修磨的垫片。

12.如权利要求1所述的精密定位台，其特征在于：所述气浮板通过气浮和真空与底座相连。