[发明专利]一种健壮性音叉振动式微机械陀螺

权利要求书

1.一种健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：包括：

(a)第一基板(1)及其上的两组对称检测用栅形固定电极(2)、固定于第一基板上的四个锚点(3)、悬于第一基板上方的第二基板(4)；

(b)第二基板包括左、右结构以及连接左、右结构的中间结构，左结构(5)包括可沿检测方向振动的一个检测质量块(6)、检测质量块与驱动质量块之间的四个检测弹性梁(7)、可沿垂直于检测方向的驱动方向振动的一个驱动质量块(8)、与驱动质量块相连的四个驱动弹性梁(9)；右结构(10)与左结构相同且对称；中间结构(11)包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块(12)、通过四个锚点与中间耦合质量块相连的中间耦合弹性梁(13)。

2.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：每个检测质量块均通过四个检测弹性梁与驱动质量块连接，每个驱动质量块通过四个驱动弹性梁与中间耦合质量块连接，每个中间耦合质量块通过两个中间耦合弹性梁与第一基板锚接在一起。

3.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：所述驱动质量块由可动条形驱动电极(14)和连接可动条形驱动电极的边框组成。

4.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：所述检测质量块由可动栅形检测电极(15)和连接可动栅形检测电极的边框组成，同时，可动栅形检测电极的厚度等于所述驱动质量块的厚度。

5.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：所述中间结构包含的每一中间耦合质量块上均匀布满阻尼孔(16)。

6.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：检测弹性梁、驱动弹性梁和中间耦合弹性梁均采用“三段梁”结构：由两段平行的第一段梁、第二段梁以及与之成一定角度相连的第三段梁构成。

7.根据权利要求4所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：第一基板上的检测用栅形固定电极与第二基板上的可动栅形检测电极的各栅形电极一一对应。

8.根据权利要求4所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：第一基板上的检测用栅形固定电极上表面与第二基板的可动栅形检测电极下表面之间的间隙小于可动栅形检测电极的栅条宽度。

9.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：第一基板与第二基板之间为滑膜阻尼。

10.根据权利要求1所述的健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：第一基板为Pyrex 7740玻璃基板，第二基板为导电单晶硅片。