[发明专利]缓蚀剂

权利要求书

1.一种缓蚀剂，其特征在于：由亚硝酸钠、硼酸盐、有机膦酸类化合物、有机胺、芳香族唑类化合物、丙烯酸磺酸三元共聚物、固态碱和水组成，其中，所述的亚硝酸钠在缓蚀剂中的重量百分比为5.0％～30.0％，所述的硼酸盐在缓蚀剂中的重量百分比为1.0％～8.0％，所述的有机膦酸类化合物在缓蚀剂中的重量百分比为0.5％～4.0％，所述的有机胺在缓蚀剂中的重量百分比为1.0％～4.0％，所述的芳香族唑类化合物在缓蚀剂中的重量百分比为0.1％～0.5％，所述的丙烯酸磺酸三元共聚物在缓蚀剂中的重量百分比为1.0％～5.0％，所述的固态碱在缓蚀剂中的重量百分比为0.5％～7.0％，余量为水。

2.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于：所述的硼酸盐选自硼酸钠、或者硼酸钾。

3.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于：所述的有机膦酸类化合物选自2-羟基膦酰基乙酸、或者2-膦酰基丁烷-1，2，4-三羧酸。

4.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于：所述的有机胺选自一乙醇胺、或者二乙醇胺、或者三乙醇胺。

5.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于：所述的芳香族唑类化合物选自巯基苯骈噻唑、或者甲基苯骈三氮唑、或者苯骈三氮唑。

6.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于：所述的固态碱选自氢氧化钾、或者氢氧化钠。