[发明专利]一种产生连续可变光瞳的照明装置有效
申请号: | 200810041706.7 | 申请日: | 2008-08-14 |
公开(公告)号: | CN101408285A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 郭勇;李仲禹 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | F21V5/04 | 分类号: | F21V5/04;G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 产生 连续 可变 照明 装置 | ||
1.一种产生连续可变光瞳的照明装置,该照明装置包括沿光路依次排列的衍射光学元件、变焦透镜组、旋转三棱镜、光瞳整形装置以及聚光系统,其特征在于:所述光瞳整形装置在垂直于光路平面内的正交方向,即x和y方向上具有不同的光焦度。
2.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于:所述光瞳整形装置包括一沿x方向或y方向放置的光学元件,用以提供x方向或y方向的不同扩束能力。
3.根据权利要求1或2所述的照明装置,其特征在于:所述光瞳整形装置由一个沿x方向或y方向放置的柱面透镜组构成,所述柱面透镜组在其放置方向上能够提供不同的扩束能力,而在与其放置方向正交的另一方向上光焦度为0。
4.根据权利要求3所述的照明装置,其特征在于:所述柱面透镜组由至少三片柱面透镜组成,其中至少两片柱面透镜的位置可调,通过透镜位置的变化在x方向或y方向上提供不同的扩束能力。
5.根据权利要求3所述的照明装置,其特征在于:所述柱面透镜组绕光轴旋转。
6.根据权利要求1或2所述的照明装置,其特征在于:所述光瞳整形装置由一x方向变焦柱面透镜组和一y方向变焦柱面透镜组组成。
7.根据权利要求6所述的照明装置,其特征在于:所述x方向/y方向变焦柱面透镜组由至少三片柱面透镜组成,其中至少两片柱面透镜的位置可调,通过透镜位置的变化在x方向/y方向上提供不同的扩束能力。
8.根据权利要求1或2所述的照明装置,其特征在于:所述光瞳整形装置是棱镜系统。
9.根据权利要求8所述的照明装置,其特征在于,所述棱镜系统通过调节棱镜的旋转角度以控制x和y方向的扩束比。
10.根据权利要求1或2所述的照明装置,其特征在于:所述光瞳整形装置是螺旋面透镜组。
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