[发明专利]抑制金属焊盘腐蚀的方法

权利要求书

1.抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在制作好的金属焊盘上形成氮化钛层；

步骤2：将所述氮化钛层在金属焊盘上保留预设时间后，去除氮化钛层；其中所述金属焊盘材料为铜和铝的合金。

2.如权利要求1所述的抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，所述步骤1中形成的氮化钛层的厚度为700～1000埃。

3.如权利要求1所述的抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，所述步骤1中形成氮化钛采用化学气相沉积法，沉积温度为440～460摄氏度，真空压力为1.5～2托，沉积时间为100～135秒。

4.如权利要求1所述的抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，所述步骤2中金属焊盘上氮化钛停留的预设时间至少为2小时。

5.如权利要求1所述的抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，所述步骤2中金属焊盘上氮化钛停留的环境为常温常压的洁净室。

6.如权利要求1所述的抑制金属焊盘腐蚀的方法，其特征在于，所述步骤2中采用干法蚀刻工艺去除氮化钛层。