[发明专利]一种椭偏测量的方法及其装置

权利要求书

1.一种基于椭圆偏振技术的对待测表面的由电磁波探测到的特性信息进行确定的方法，其中，包括如下步骤：

i.根据固定起偏方位角来对光线进行起偏，以得到偏振光；

ii.将所述偏振光照射在所述待测表面上，以得到经所述待测表面反射、和/或透射、和/或衍射后的特征光；

iv.根据固定检偏方位角来对所述特征光中的一个或多个进行检偏，分离出所述一个或多个特征光各自的p分量和s分量；

v.分别检测所述特征光的p分量和s分量的光强，以得到与所述待测表面相对应的一组p分量和s分量的光强信息，并获取其之间的相位关系信息；

还包括：

I.对所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定检偏方位角中的未知项进行定标，以得到经确定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定检偏方位角；

a.基于所得到的与所述待测表面相对应的一组光强信息，以及所述经确定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定检偏方位角，来根据预定方式确定所述待测表面的由电磁波探测到的所述特性信息；

其中，所述步骤I包括：

I1.根据所述固定起偏方位角来对所述光线进行起偏，以得到偏振光；

I2.将所述偏振光照射在特性信息已知的参考表面上；

I3.根据所述固定检偏方位角来对所述表面反射、和/或透射、和/或衍射来的特征光进行检偏，分离出所述特征光的p分量和s分量；

I4.分别检测所述特征光的p分量和s分量的光强，以得到与所述参考表面相对应的一组光强信息；

I5.将所述参考表面更换为另一个参考表面，重复步骤I1至I4，直至已获得一组或多组与各个参考表面相对应的光强信息满足第一预定条件；

其中，所述步骤I还包括：

-根据所述已获得的一组或多组与各个参考表面相对应的光强信息，利用预定的定标方法来对所述固定起偏方位角，所述偏振光的入射角，和所述固定检偏方位角中的未知项进行定标，以得到经确定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角、所述固定检偏方位角。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤ii之后，步骤iv之前，还包括：

iii.将经所述待测表面反射、和/或透射、和/或衍射后的所述特征光进行分光，以生成预定数量个与所述待测表面相对应的分光；

其中，所述步骤iv还包括：

-根据预定数量个固定检偏方位角来对所述预定数量个与所述待测表面相对应的分光分别进行检偏，分离出各个与所述待测表面相对应的分光各自的p分量和s分量；

其中，所述步骤v还包括：

-分别检测与所述待测表面相对应的各个分光的p分量和s分量的光强，以得到与所述待测表面相对应的一组光强信息，并获取各个对应p分量和s分量之间的相位关系信息。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤a之前还包括：

O.对所述预定数量个固定检偏方位角，所述固定起偏方位角，和所述偏振光的入射角中的未知项进行定标，以得到经确定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角以及所述预定数量个固定检偏方位角；

所述步骤a还包括：

a1.根据所述经确定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述预定数量个固定检偏方位角，根据所述预定方式确定所述待测表面的由电磁波探测到的特性信息。