[发明专利]硅片机械手无效
| 申请号： | 200810043262.0 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101559599A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 刘东升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/10 | 分类号： | B25J9/10;B25J19/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 机械手 | ||
【权利要求书】：
1、一种硅片机械手，包括控制系统、机械手，其特征在于：在所述机械手的下端面和需要到达的位置设有相互配合动作的位置检测装置；
当机械手到达指定位置后，如果位置检测装置向所述控制系统发出位置到达信号，则允许搬送硅片，否则报警并停止搬送硅片。
2、如权利要求1所述的硅片机械手，其特征在于：所述位置检测装置由传感器和颜色标志组成，分别安装在所述机械手的背面和需要到达的位置。
3、如权利要求1所述的硅片机械手，其特征在于：在所述机械手的上面设置3个压力传感器，所述三个压力传感器成等边三角形设置。
4、如权利要求1所述的硅片机械手，其特征在于：在所述机械手的下端面设有图象传感器，对片盒中硅片的位置进行摄像，将采集的硅片在片盒中的位置的图像信息传送到控制系统中进行图象处理，判断机械手与片盒中硅片之间的距离，当超过允许值时报警并停止搬送硅片。
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