[发明专利]自动化控制系统及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种集成电路生产线的自动化控制系统，为此本发明还涉 及一种基于上述系统的控制方法。

背景技术

在现有的集成电路生产线的CIM/CAM(Computer Integrated  Manufacture/Computer Auxiliary Manufacture，计算机辅助制造)等自动 化控制系统中，由于设备状态(正常/故障)和作业质量(作业时间、作业 稳定性、制成品的工艺品质)的变化频繁且随机，控制系统很难自动且有 效地分配作业，因此常常对集成电路生产线上的设备利用率及制成品的品 质造成显著影响。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种自动化控制系统的控制方法，该 控制方法可以提高集成电路生产线上的设备使用率及制成品的品质。

为解决上述技术问题，本发明自动化控制系统的控制方法，所述自动 化控制系统包括控制中心、通信终端和生产设备，所述控制中心连接一个 或多个通信终端；每个通信终端连接一台或多台生产设备；所述控制中心 与通信终端之间、通信终端与生产设备之间的连接为局域网连接、总线连 接、点对点连接、无线连接中的一种或多种；所述自动化控制系统的控制 方法包括如下步骤：

第1步，所述生产设备向通信终端提交作业请求；

第2步，所述通信终端设定各生产设备的优先级，并按优先级由高至 低的顺序向控制中心提交作业请求；

所述通信终端按照如下方法设定生产设备的优先级：将生产设备的优 先级设为P＝K₁×(1-F)^m+K₂×Qⁿ，其中F为故障率、Q为作业质量，K₁、m为 调节生产设备状态的权重系数，K₂、n为调节作业质量的权重系数，且K₁、 K₂、m、n均为大于等于零的实数；

当多台生产设备同时提交作业请求，且优先级高的生产设备的利用率 低于预先设定的数值时，所述通信终端屏蔽或延迟提交优先级低的生产设 备的作业请求；

当多台生产设备同时提交作业请求，且优先级高的生产设备的利用率 大于或等于预先设定的数值时，所述通信终端先提交多台生产设备的相同 数量的端口的作业请求，同时屏蔽或延迟提交多台生产设备的其余端口的 作业请求；

当多台具有相同或相近的优先级的生产设备同时提交作业请求时，所 述通信终端先提交多台生产设备的相同数量的端口的作业请求，同时屏蔽 或延迟提交多台生产设备的其余端口的作业请求；

第3步，所述控制中心根据各通信终端提交的作业请求向所述通信终 端下达作业指令，所述通信终端根据各生产设备提交的作业请求向所述生 产设备下达作业指令。

本发明通过优先提交故障率低、作业质量高的生产设备的作业请求， 从而将作业优先分配给故障率低、作业质量高的生产设备，这有利于提高 制成品品质。本发明还能平衡分配多个生产设备的作业，从而提高了设备 利用率。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1是本发明自动化控制系统的结构示意图；

图2是本发明自动化控制系统的控制方法的流程图；

图3是本发明自动化控制系统的控制方法的流程图二。

图中的附图标记为：1-控制中心；2-通信终端；3-生产设备。

具体实施方式

请参阅图1，本发明自动化控制系统包括控制中心1、通信终端2和生 产设备3。其中，控制中心1用于负责对集成电路生产线上的生产设备3及 工艺流程实行自动控制及运行管理(具体包括设备工艺条件管理，制品调度 等)。通信终端2用于对各生产设备3进行实时监控。控制中心1连接一个 或多个通信终端2，每个通信终端2连接一台或多台同类或不同类的生产设 备3。控制中心1与通信终端2之间、通信终端2与生产设备3之间的连接 为局域网连接、总线连接、点对点连接、无线连接中的一种或多种。所述 局域网连接至少包括基于TCP/IP协议的以太网连接，所述点对点连接至少 包括采用RS232接口(串口)的点对点连接，所述无线连接至少包括采用 蓝牙通讯技术的无线连接。

请参阅图2，基于上述自动化控制系统的控制方法包括如下步骤：