[发明专利]CMP设备的死机报警方法及其装置

权利要求书

1.一种CMP设备的死机报警装置，所述终端阀门关闭时的驱动信号为低电平，开启时的驱动信号为高电平，其特征是：所述装置包括：

逻辑或电路，所述CMP设备的所有研磨台的所有研磨液管道的终端阀门的驱动信号均作为该电路的输入；

定时电路，所述逻辑或电路的输出作为定时电路的输入，所述定时电路在输入由高电平变为低电平时开始计时，在输入由低电平变为高电平时停止计时并清零，同时输出高电平；在计时到达预设时间后输入始终为低电平时，计时自动停止并清零，同时输出低电平；

逻辑非电路，所述定时电路的输出作为逻辑非电路的输入；

报警电路，所述逻辑非电路的输出作为报警电路的输入，所述报警电路只有输入为高电平时才发出报警信号。

2.根据权利要求1所述的CMP设备的死机报警装置，其特征是：所述装置还包括一独立电源，所述独立电源与所述CMP设备的电源相独立。

3.一种CMP设备的死机报警装置，所述终端阀门关闭时的驱动信号为低电平，开启时的驱动信号为高电平，其特征是：所述装置包括：

逻辑或电路，所述CMP设备的所有研磨台的所有研磨液管道的终端阀门的驱动信号均作为该电路的输入；所述逻辑或电路的输出作为逻辑非电路的输入；

逻辑非电路，所述逻辑非电路的输出作为定时电路的输入；

定时电路，所述定时电路在输入由低电平变为高电平时开始计时，在输入由高电平变为低电平时停止计时并清零，同时输出低电平；在计时到达预设时间后输入始终为高电平时，计时自动停止并清零，同时输出高电平；

报警电路，所述定时电路的输出作为报警电路的输入，所述报警电路只有输入为高电平时才发出报警信号。

4.根据权利要求3所述的CMP设备的死机报警装置，其特征是：所述逻辑或电路和逻辑非电路的组合为一个逻辑或非电路替换。

5.根据权利要求3所述的CMP设备的死机报警装置，其特征是：所述装置还包括一独立电源，所述独立电源与所述CMP设备的电源相独立。