[发明专利]硅片传送手臂及其使用方法

权利要求书

1.一种硅片传送手臂，其特征在于：包括多个手臂支架、连接器、驱 动马达；每个手臂支架的一端与连接器连接，连接器与驱动马达连接；所 述手臂支架为四个，所述四个手臂支架彼此形成十字形；所述四个手臂支 架构成的平面垂直于水平平面。

2.根据权利要求1所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述手臂支架 包括彼此形成剪刀状的两个夹柄，夹柄的尾端连接行星齿轮；所述两个行 星齿轮互相噬合。

3.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄的自 由端为弧形。

4.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄上固 定设置有多个带槽卡子。

5.根据权利要求3所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述夹柄的弧 形部分设有多个槽。

6.根据权利要求2所述的硅片传送手臂，其特征在于：所述手臂支架 包括两对或多对夹柄。

7.一种权利要求1所述的硅片传送手臂的使用方法，其特征在于：采 用以下步骤传送硅片：

第一步，使第一手臂支架、第三手臂支架处于水平状态，第二手臂支 架、第四手臂支架处于垂直状态；处于右侧的手臂支架用于硅片的接收， 处于下方的手臂支架用于垂直方向的传送，处于左侧的手臂支架用于硅片 的送出；

第二步，使处于右侧的手臂支架接收硅片；

第三步，使连接器顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第三手臂支架 处于垂直状态，第二手臂支架、第四手臂支架处于水平状态，实现水平方 向与垂直方向的手臂支架功能互换；

第四步，使处于下方的手臂支架执行硅片操作；或者在下方直接将硅 片送出，实现垂直方向传送硅片；同时使处于右侧的手臂支架接收硅片， 实现水平方向接收硅片。

8.根据权利要求7所述的硅片传送手臂的使用方法，其特征在于：所 述第四步完成之后，使连接器再次顺时针旋转90度，使第一手臂支架、第 三手臂支架处于水平状态；将处于左侧的手臂支架上的硅片送出，同时通 过处于右侧的手臂支架接收新的硅片，处于下方的手臂支架执行硅片操作。