[发明专利]三氯氢硅生产过程中四氯化硅的回收利用方法

权利要求书

1、一种三氯氢硅生产过程中四氯化硅的回收利用方法，其特征在于：利用四氯化过易水解的特性，使四氯化硅和稀盐酸及新鲜水在反应器中反应，生成氯化氢气体和二氧化碳，氯化氢气体经干燥后送往三氯氢硅合成炉回收利用，二氧化硅送往后续工序处理后，用作橡胶、塑料的填充剂或建材原料。

2、一种用于实施如权利要求1所述三氯氢硅生产过程中四氯化硅的回收利用的设备，其特征在于：包括以下用于处理工业级四氯化硅的装置：使四氯化硅和稀盐酸及新鲜水在其中反应的反应器(1)，该反应器(1)包括位于其顶部的稀盐酸及新鲜水进料口(4)和位于其中部的四氯化硅进料口(3)，和设于反应器(1)内四氯化硅进料口之上的填料层/塔(2)，以及反应器(1)下端的四氯化硅出口(5)和出液口(6)。

3、根据权利要求2所述的一种用于三氯氢硅生产过程中的四氯化硅回收利用的设备，其特征在于：所述位于反应器(1)中部的加料口(3)设有通到反应器中心的管道。