[发明专利]改善太阳能电池扩散的方法

权利要求书

1、一种改善太阳能电池扩散的方法，其步骤是：

A、采用硅原料，导电类型P型，厚度280um～310um，电阻率0.5～10Ωcm；

B、扩散：硅片在800-900℃气氛中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气，方程式如下：

Si+O2＝SiO2；

5POCl3＝3PCl5+P2O5；

4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；

2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；

扩散过程气体流量：

大氮20～35L/min；小氮1.6～2.5L/min；氧气2.0～3.5L/min；

持续时间20～40min；

C、通氧再分布，扩散B步骤后，再通入氧气1～4L/min，与未消耗完的PCl₅继续反应生成磷：

4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；

2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；

磷原子继续扩散，温度控制在830℃～900℃；气体流量：大氮20～35L/min；停止通小氮；氧气1～4L/min；持续时间5～15min；

D、与再分布相结合的磷原子Drive in过程：

通氧再分布过程结束后，继续通入大氮20～35L/min；停止通小氮和氧气；持续时间8～20min；温度控制在830℃～900℃；

E、经过上述B、C、D步骤扩散，再分布和Drive in过程之后表面方块电阻为28～38Ω/□。