[发明专利]一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置

权利要求书

1、一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法，其步骤包括：

(a)将宽带光源出射的光通过分光棱镜分成两束光，然后分别通过一个反射镜反射，再由分光棱镜将反射后的两束光汇聚成一束，形成干涉光路，产生干涉信号，再探测干涉信号的光谱信息，并将光谱信息进行傅立叶变换，得到产生干涉信号的二光路的光程差信息S1；

(b)将待测量样品薄膜放置在上述任一反射镜前，重复步骤(a)，得到产生干涉信号的二光路的光程差信息S2；

(c)当待测量样品的折射率已知时，利用光程差信息S1和S2，得到待测量样品的厚度；

当待测量样品的折射率未知时，将待测量样品旋转一个角度后放置到同一反射镜前，再重复步骤(a)，得到产生干涉信号的二光路的光程差信息S3；根据光程信息S1、S2和S3，计算获得薄膜的折射率和薄膜厚度。

2、实现权利要求1所述的方法的装置，其特征在于：它包括宽带光源(9)，干涉组件(10)，频域探测装置(11)和数据处理器(12)；

宽带光源(9)，干涉组件(10)和频域探测装置(11)位于同一光路上，数据处理器(12)与频域探测装置(11)电连接；

宽带光源(9)出射的光经干涉组件(10)产生干涉信号，再经过频域探测装置(11)，探测信号光的光谱信息，并将光谱信息传送给数据处理器(12)，数据处理器(12)对获得的数据进行处理。

3、根据权利要求2所述的装置，其特征在于：干涉组件(10)包括第一分光元件(13)，第一、第二反射镜(14、15)；第一、第二反射镜(14、15)的反射面分别与从第一分光元件(13)出射的两束光方向垂直。

4、根据权利要求2所述的装置，其特征在于：干涉组件(10)包括第一、第二分光元件(13、18)以及第一、第二反射镜(14、15)；

光束落在第一、第二分光元件(13、18)、第一、第二反射镜(14、15)上的位置位于光束构成的四边形的四个角上。

5、根据权利要求4所述的装置，其特征在于：第一、第二分光元件(13、18)，第一、第二反射镜(14、15)的反射面的中心位于平行四边形的四个角上。