[发明专利]一种铜键合丝及其制备方法无效
申请号: | 200810049097.X | 申请日: | 2008-01-17 |
公开(公告)号: | CN101487090A | 公开(公告)日: | 2009-07-22 |
发明(设计)人: | 吕长江;吕长春 | 申请(专利权)人: | 济源优克电子材料有限公司 |
主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00 |
代理公司: | 郑州中原专利事务所有限公司 | 代理人: | 张君燕 |
地址: | 454600河南省济源市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜键合丝 及其 制备 方法 | ||
1、一种铜键合丝,其特征是:铜键合丝材料中各成分重量百分比为La为0.0008~0.002wt%,Ce为0.001~0.003wt%,Ca为0.002~0.004wt%,Cu为99.99~99.995%。
2、一种制备铜键合丝方法,其特征是:包括以下步骤:
a、铜键合丝坯料制备,采用定向凝固方法制备铜键合丝坯料;
b、将制备好的坯料进行拉制,其拉制速度为80~200m/min;
c、铜键合丝热处理过程中采用纯度大于99.999%的氢气加纯度大于99.999%的惰性气体对铜键合丝进行保护和光亮化处理,其中氢气的流量为0.6~1.2L/min,惰性气体的流量为1.0~1.6L/min;
d、铜键合丝的表面抗氧化处理,采用浓度为0.05%~10%的苯并三氮脞均匀涂在铜键合丝表面,涂层厚度为0.002~0.012mm,并采用50~150℃热风将其吹干;
e、铜键合丝包装采用充氮包装,其中氮气纯度为99.999%。
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