[发明专利]一种坡莫合金真空热处理工艺

权利要求书

1.一种坡莫合金真空热处理工艺，包括：真空电阻炉、水循环冷却装置、机械泵、扩散泵、控制柜，其特征是依次采用如下步骤进行：

a、打开充气阀，使真空电阻炉内、外气压平衡，将工件放入炉内，盖上内盖，关闭炉盖，关闭充气阀；

b、启动机械泵打开低真空阀，机械泵声音平稳后，完全打开低真空阀；

c、真空度到达5.0E0时，关闭低真空阀，打开扩散泵，再打开高真空阀；

d、真空度到达5.0E-1时，打开电离计，测量高真空度数值；

e、真空度到达5.0E-2时，利用控制柜开启主加热，先手动升温到100℃，再打开自动运行，温度上升到1148-1152℃时，保温5小时；

f、用5.5小时的时间平均降温至578-582℃，保温1小时；

g、关闭主加热，真空电阻炉内温度降至200℃时，关闭扩散泵，降温到180℃以下，关闭机械泵阀门；

h、打开炉盖，取出工件后将炉盖关闭。