[发明专利]一种基于二元光学器件的阵列化表面等离子共振传感器芯片

权利要求书

1.一种基于二元光学器件的表面等离子共振传感器芯片；芯片基底采用透明光学介质，在基底上集成有两组二元光学器件、镜面反射膜(可选)和传感膜阵列；二元光学器件在功能上都相当于柱面透镜或柱面反射镜，其设计和制作可以按照二元光学透镜理论和工艺完成；第一组二元光学器件用于入射光线的角向汇聚，产生多角度入射光束，入射光束经基底表面传感膜反射后，入射到第二组二元光学器件；第二组二元光学器件用于对反射光束进行准直；每组二元光学器件可以包还多个单元，每个单元可以产生一束多度角度入射光或者对一束多角度反射光进行准直；准直后的光束可以直接用于共振角的检测。

2.根据权利要求1，其特征在于，传感器芯片采用二元光学器件实现光束的角向汇聚和光束准直，传感膜采用阵列化结构，实现了表面等离子传感器的阵列化检测。

3.权利要求1所述的芯片基底，形状可以是梯形柱状(或三角形柱状)和平板状。

4.权利要求1所述的两组二元光学器件，可以是透射式的，也可以是反射式的，反射式的二元光学器件的背光面需要制备反射膜。

5.权利要求1所述的芯片结构，第一组二元光学器件产生的多角度入射光束可以直接入射到传感膜阵列，也可以经过基底另一表面的反射膜反射后再入射到传感膜阵列；传感膜阵列反射后的光束可以直接入射到第二组二元光学器件，也可以经过基底另一表面再次反射后入射到第二组二元光学器件。

6.权利要求1、2、4、5所述的两组二元光学器件，透射式二元光学器件可以用柱面透镜代替，反射式二元光学器件可以用柱面反射镜代替。