[发明专利]多晶硅铸锭炉同步提升装置有效
申请号: | 200810055536.8 | 申请日: | 2008-08-01 |
公开(公告)号: | CN101328606A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 赵雪峰;张金凤;程建平 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 山西科贝律师事务所 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 同步 提升 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉同步提升装置,包括分别固定设置在炉体(1)顶盖上的三个提升座(15),在每个提升座(15)上分别固定设置有垂直提升基架(3),其特征在于,所述的每个垂直提升基架(3)上均分别设置有垂直直线导轨(11),在每个垂直直线导轨(11)上均分别活动设置有滑块(16),在滑块(16)上均固定设置有L形提升角件(8),每个L形提升角件(8)的下端与提升杆(13)的一端固定连接,提升杆(13)依次穿过垂直提升基架(3)上设置的孔、提升座(15)上设置的孔以及炉体(1)上设置的孔后与炉体(1)内的框架(2)连接在一起,在L形提升角件(8)的下端的提升杆的四周固定设置有提升上密封圈(9),该提升上密封圈(9)的上端与L形提升角件(8)的下端固定连接在一起,该提升上密封圈(9)的下端与一波纹管(10)的上端固定连接在一起,波纹管(10)的下端固定连接在所述的提升座(15)上;在所述的其中的一个垂直提升基架(3)上设置有伺服电机(4),该伺服电机(4)通过减速机(5)与齿轮转向器(6)连接在一起,该齿轮转向器(6)的垂直输出轴通过连轴器(7)与滑块(16)连接在一起,该齿轮转向器(6)的水平输出轴通过软轴(12)分别与安装在另外两个提升座(15)上的垂直提升基架(3)的滑块连接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉同步提升装置,其特征在于,所述的炉体(1)顶盖上的三个提升座(15)在炉盖上呈等边三角形排列,该三个提升座(15)分别位于所述的等边三角形的三个顶点上。
3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅铸锭炉同步提升装置,其特征在于,所述的波纹管(10)是不锈钢波纹管。
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