[发明专利]一种射频自动阻抗匹配器及其实现方法有效

专利信息
申请号: 200810055642.6 申请日: 2008-01-04
公开(公告)号: CN101478856A 公开(公告)日: 2009-07-08
发明(设计)人: 武晔 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 代理人: 王 琦;王诚华
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 射频 自动 阻抗 配器 及其 实现 方法
【权利要求书】:

1.一种射频自动阻抗匹配器,包括:传感器以及执行机构,其特征在 于,所述射频自动阻抗匹配器还包括:控制器、驱动装置以及负载接地电容;

所述控制器,用于获取当前的工艺条件,根据预先确定并存储的不同工 艺条件下对应的最优负载接地电容值,确定与所述当前工艺条件对应的最优 负载接地电容值,并控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调整为 所述确定的与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值;

所述驱动装置,用于在所述控制器的控制下,将所述负载接地电容的当 前值调整为所述控制器确定的与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电 容值;

所述负载接地电容,用于在所述驱动装置的控制下,改变自身电容值。

2.根据权利要求1所述的射频自动阻抗匹配器,其特征在于,所述驱 动装置为步进电机,用于接收所述控制器发送的步进脉冲,控制所述负载接 地电容改变当前值;

所述控制器根据预先确定的步进电机每一步进所改变的负载接地电容 值,计算将负载接地电容的当前值调整为所述确定的与所述当前工艺条件对 应的最优负载接地电容值时,需要向所述步进电机连续发送的步进脉冲个 数。

3.根据权利要求1所述的射频自动阻抗匹配器,其特征在于,所述射 频自动阻抗匹配器中进一步包括:

测量装置,用于实时测量所述负载接地电容的当前值,并反馈给所述控 制器;

所述控制器根据反馈结果,实时调整对所述驱动装置的控制方式。

4.根据权利要求1所述的射频自动阻抗匹配器,其特征在于,所述控 制器进一步用于,对所述存储的不同工艺条件下对应的最优负载接地电容值 进行更新。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的射频自动阻抗匹配器,其特征在 于,所述控制器中进一步包括:获取单元、确定单元以及控制单元;

所述获取单元,用于获取当前的工艺条件;

所述确定单元,用于根据预先确定并存储的不同工艺条件下对应的最优 负载接地电容值,确定与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值;

所述控制单元,用于控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调 整为所述确定的与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值。

6.一种射频自动阻抗匹配器实现方法,其特征在于,在控制器与负载 接地电容之间设置一个用于控制负载接地电容的驱动装置;该方法包括:

控制器获取当前的工艺条件,根据预先确定并存储的不同工艺条件下对 应的最优负载接地电容值,确定与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电 容值;

所述控制器控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调整为所 述确定的与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述不同工艺条件下对 应的最优负载接地电容值以表格的形式存储在所述控制器中;

所述确定与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值包括:

所述控制器通过查找所述表格,找到与所述当前工艺条件对应的最优负 载接地电容值。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述驱动装置为步进电 机;所述控制器控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调整为所述 确定的与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值包括:

所述控制器根据预先确定的所述步进电机每一步进所改变的负载接地 电容值,计算将所述负载接地电容的当前值调整为所述确定的与所述当前工 艺条件对应的最优负载接地电容值时,需要向所述步进电机连续发送的步进 脉冲个数;

所述控制器向所述步进电机连续发送步进脉冲;

所述步进电机接收步进脉冲,控制所述负载接地电容改变当前值。

9.根据权利要求6、7或8所述的方法,其特征在于,该方法进一步包 括:对所述控制器中存储的不同工艺条件下对应的最优负载接地电容值进行 更新。

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