[发明专利]一种用于测量高反射率的装置

权利要求书

1、一种用于测量高反射率的装置，其中：光电探测器(7)将光信号转换成的电信号，由数据采集卡(8)记录并输入计算机(9)处理及存储，计算机(9)控制数据采集卡(8)的采样率、采集数据点长度以及采集电压最大幅值；其特征在于：入射腔镜(3)和出射腔镜(5)与平面高反镜(4)共同构成稳定的光学谐振腔作为初始衰荡腔，入射腔镜(3)和平面高反镜(4)位于同一直线上，构成初始衰荡腔的入射臂，出射腔镜(5)和平面高反镜(4)位于另一条直线上，构成初始衰荡腔的出射臂，总腔长为L，入射臂和出射臂之间的夹角为θ；测试时，由光源(1)发出的光束经匹配透镜(2)进入上述衰荡光腔，会聚透镜(6)和光电探测器(7)置于平面高反镜(4)后搜集和探测出射的光束；由光腔衰荡技术探测并通过计算机(9)拟合得到初始腔衰荡时间τ₁；然后在出射臂插入待测平面高反镜(14)，调节出射腔镜(5)，形成稳定的测试腔，再由光腔衰荡技术探测并通过计算机(9)拟合得到测试腔衰荡时间τ₂；通过待测平面高反镜的反射率公式计算，便可得到待测平面高反镜的反射率。

2、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：光源(1)可采用光强可调制的连续半导体激光器，此时函数发生卡(10)与计算机(9)相连，计算机(9)控制函数发生卡(10)的调制频率、调制振幅以及偏置电压，函数发生卡(10)输出的方波函数用于调制光源(1)所采用的半导体激光器的激励电压。

3、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：光源(1)也可采用脉冲激光器，此时不需要函数发生卡(10)来调制光源(1)，光源(1)直接输出激光脉冲。

4、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：所述的光源(1)的激光波长若不在可见波段，则利用反射镜(12)和分光镜(13)引入准直光束激光器(11)发出的可见激光束，用于调节衰荡腔。

5、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：所述的会聚透镜(6)和光电探测器(7)搜集和探测平行于入射臂方向或出射臂方向的出射激光束或同时搜集和探测两个方向的出射激光束。

6、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：所述的入射臂比出射臂短，两者之间的夹角θ满足5°≤θ≤45°。

7、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：所述的入射腔镜(3)的反射率R₁和平面高反镜(4)的反射率R₂满足0.998≤R₁≤0.9999，0.998≤R₂≤0.9999，出射腔镜(5)的反射率R₃满足R₃≥0.9995，并且出射腔镜(5)的反射率R₃高于入射腔镜(3)的反射率R₁和平面高反镜(4)的反射率R₂。

8、根据权利要求1所述的一种用于测量高反射率的装置，其特征在于：所述在出射臂插入待测平面高反镜(14)后所形成的测试角度α，即插入的待测平面高反镜(14)的法线方向与初始衰荡腔出射臂的夹角α为1-85度。