[发明专利]一种扫描电子显微镜原位电学测量装置

权利要求书

1.一种扫描电子显微镜中原位电学测量装置，其装置特征在于：包括有支撑部分和电路部分，所述的支撑部分为绝缘衬底(1)，所述的电路部分包括固定在绝缘衬底(1)上的电极(2)、待测元件(4)和相变材料非晶薄膜(5)；所述的相变材料非晶薄膜(5)均匀分布在两金属电极(2)之间，待测元件(4)位于相变材料非晶薄膜(5)中或者集成在金属电极(2)上；

所述的相变材料非晶薄膜(5)在电子束或激光辐照下能够从非晶相变为晶体电阻降低，在高电压或电脉冲或激光照射下又从晶体转变为非晶。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜中原位电学测量装置，其特征在于：所述的两个金属电极(2)均为矩形并能够通过引线外接可控电压源。

3.根据权利要求3所述的一种扫描电子显微镜中原位电学测量装置，其特征在于：所述的待测元件(4)为纳米线或纳米球或纳米管或纳米尺寸的微型器件。

4.根据权利要求1或权利要求2或权利要求3所述的一种扫描电子显微镜中原位电学测量装置，其特征在于：所述的绝缘衬底(1)为玻璃或LaAlO₃或氧化铝。