[发明专利]一种基于相变材料的透射电镜电学测量载网无效
| 申请号： | 200810056408.5 | 申请日： | 2008-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101217097A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张泽;王珂;刘攀;韩晓东 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100022*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相变 材料 透射 电学 测量 | ||
1.一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：包括有支撑部分和电路部分，所述的支撑部分包括有金属环(1)，所述的电路部分包括有两个电极(2)、待测元件和相变材料非晶薄膜(5)，电极(2)与金属环(1)绝缘粘合，相变材料非晶薄膜(5)均匀分布在两电极(2)之间，相变材料薄膜(5)为非晶态，待测元件位于相变材料非晶薄膜(5)中或者集成在其中的一个电极(2)上；
所述的相变材料非晶薄膜(5)在电子束或激光辐照下从非晶相相变为晶体相，并能够在高电压或电脉冲或激光照射下从晶体转变为非晶。
2.根据权利要求1所述的一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：所述的金属环(1)的厚度在0.1mm～0.5mm之间。
3.根据权利要求1所述的一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：所述的两个电极(2)为宽度在0.75mm～1mm之间、长度在1.6mm～2.5mm之间的梳状电极。
4.根据权利要求1所述的一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：所述相变材料非晶薄膜(5)的厚度为10nm～50nm。
5.根据权利要求1所述的一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：所述的待测元件为纳米尺寸的微型器件。
6.根据权利要求5所述的一种基于相变材料的透射电子显微镜电学测量载网，其特征在于：所述的微型器件纳米线或纳米球。
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