[发明专利]制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法

权利要求书

1.一种制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其步骤包括：

1)制备一对或一对以上电极，电极的阴极和阳极交错分布，所述电极的阴极和阳极之间的距离为20μm；

2)将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在上述电极之上；

3)上述电极施加交流电或直流电后，碳纳米管垂直于上述电极边沿平行排布；待有机溶剂蒸发后，碳纳米管的一端与支撑电极的衬底黏附、而另外一端与电极黏附；

4)将上述电极边沿附近悬空的碳纳米管切断，形成由上述碳纳米管组成的悬壁梁阵列。

2.如权利要求1所述的所述制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙醇、丙酮、正己烷、异丙醇、N，N₂二甲基甲酰胺或1，2-二氯乙烷。

3.如权利要求1或2所述的所述制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其特征在于，所述步骤2)进一步包括：将含有碳纳米管的有机溶液进行超声，充分分散有机溶剂中的碳纳米管。

4.如权利要求1所述的所述制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其特征在于，所述步骤2)中，将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在电极之上的具体方式是，将含有碳纳米管的有机溶液滴于电极之上，或将电极浸没于上述含有碳纳米管的有机溶液中。

5.如权利要求1所述的所述制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其特征在于，所述步骤3)中，电极施加交流电，具体施加的交流电的参数范围为V_PP＝1-20V，频率1-10MHZ。

6.如权利要求1所述的所述制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，其特征在于，所述步骤4)中，将上述电极边沿的碳纳米管切断的具体方式是，采用聚焦离子束切断碳纳米管，聚焦离子束的能量30keV，束流为：1pA，10pA，30pA或100pA。