[发明专利]一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘

权利要求书

1、一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成；其特征在于：底座(1)上表面是球面，N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上，基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器上的球面薄板，导线插座(4)安装在底座的下表面。

2、根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，其特征在于：每一个压电陶瓷驱动器(2)上都有一路加载在其上的数控电压源，各压电陶瓷驱动器(2)通过导线插座(4)与各自的数控电压源相联接。

3、根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，其特征在于：基盘(3)为金属铝制作而成的球面薄板。

4、根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，其特征在于：压电陶瓷驱动器(2)的数目N可以根据基盘变形后的面型精度要求和基盘(3)的面积大小来进行设计；基盘(3)的面积大小一定的情况下，压电陶瓷驱动器(2)数目N越多实现的面型精度越高。

5、根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，其特征在于：每一个压电陶瓷驱动器(2)都能够通过改变加载在其上的电压值产生一定的伸缩变化，从而使基盘(3)的面型能够相应改变。

6、根据权利要求5所述的压电陶瓷驱动器的伸缩变化，其特征在于：每一个压电陶瓷驱动器(2)的最小伸缩量为纳米级，能够使得基盘(3)产生高精度的非球面面型。