[发明专利]一种阻抗匹配器

权利要求书

1.一种阻抗匹配器，其特征在于包括：

电压电流传感器，用于监测等离子体反应室内的阻抗状态，输出表征等离子体反应室阻抗状态的信号至控制系统；

控制系统，用于按照事先确定的匹配控制方法生成控制信号，驱动执行机构调节射频电源的负载阻抗，实现所述射频电源的输出阻抗与所述射频电源的负载阻抗的匹配；采集所述电压电流传感器的表征等离子体反应室阻抗状态的信号，并根据表征等离子体反应室阻抗状态的信号计算出等离子体反应室的阻抗值；

执行机构，用于接收所述控制系统的控制信号，根据控制信号调节所述射频电源的负载阻抗；

所述控制系统包括：

负载状态监测模块，用于采集所述电压电流传感器的表征等离子体反应室阻抗状态的信号，并根据表征等离子体反应室阻抗状态的信号计算出等离子体反应室的阻抗值；

反射功率采集模块，用于采集所述射频电源的反射功率信号，并输出反射功率至匹配控制模块；

匹配控制模块，用于利用所述反射功率采集模块采集的反射功率，按照事先确定的匹配控制方法生成控制信号驱动所述执行机构；

所述执行机构包括第一可变电抗元件和第二可变电抗元件；

所述匹配控制模块包括：

第一匹配调节单元，用于根据所述反射功率采集模块输入的反射功率，持续输出使所述第一可变电抗元件的阻抗值单向递增或递减的控制信号，以使反射功率降低，直至反射功率不能再降低，然后触发第一匹配判断单元；

第一匹配判断单元，用于根据所述反射功率采集模块输入的反射功率是否为零判断阻抗是否匹配，如果反射功率不为零则阻抗不匹配，触发第二匹配调节单元；

第二匹配调节单元，用于根据所述反射功率采集模块输入的反射功率，持续输出使所述第二可变电抗元件的阻抗值单向递增或递减的控制信号，以使反射功率降低，直至反射功率不能再降低，然后触发第二匹配判断单元；

第二匹配判断单元，用于根据所述反射功率采集模块输入的反射功率是否为零，判断阻抗是否匹配，如果反射功率不为零则阻抗不匹配，触发所述第一匹配调节单元。

2.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述反射功率采集模块直接通过一与所述射频电源连接的外接信号传输线，采集所述射频电源的反射功率。

3.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，还包括功率传感器，设于射频输入端，用于从所述射频输入端采集所述射频电源的反射功率信号，并输出至所述反射功率采集模块。