[发明专利]复合蓝色水晶衬底基片及其制备方法

权利要求书

1.复合蓝色水晶衬底基片，包括蓝色水晶晶片(α-SiO₂)，其特征在于：在蓝色水晶晶片(α-SiO₂)表面复合设有一层硅酸锂(γ-Li₂SiO₂)。

2.根据权利要求1所述的复合蓝水晶衬底基片，其特征在于：蓝水晶晶片(α-SiO₂)是经过双面或单面抛光的蓝水晶晶片。

3.根据权利要求1所述的复合蓝水晶衬底基片的制备方法，其特征在于该方法是采用气相传输平衡方法来制备的，包括下列步骤：

(1)将经过粗磨，细磨或抛光的蓝色水晶晶片(α-SiO₂)，叠合送入一个铂金坩埚内，把它置于或悬于铂金丝上，该坩埚内放置带气孔的含有的氧化锂(Li₂O)混合料块，加上覆盖氧化锂(Li₂O)混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭，置于电阻炉内；

(2)该电阻炉加热升温到1100～1300℃左右，恒温50～80小时，氧化锂(Li₂O)扩散到蓝水晶晶片(α-SiO₂)中，发生固相反应，在成对叠合的蓝水晶晶片(α-SiO₂)的晶面生成硅酸锂(γ-Li₂SiO₂)；

(3)采用普通的机械和化学方法，对以上复合的硅酸锂蓝水晶晶片(Li₂SiO₂/a-SiO₂)晶片进行研磨，抛光，清洗，包装，即获得所述的复合蓝色水晶衬底基片。

4.根据权利要求3所述的复合蓝水晶衬底基片的制备方法，其特征在于所述的铂金坩埚采用氧化铝坩埚代替。

5.根据权利要求3所述的复合蓝水晶衬底基片的制备方法，其特征在于所述的氧化锂(Li₂O)混合料块还含有硅酸锂(Li₂SiO₂)，按重量比的选取范围是硅酸锂(Li₂SiO₂)/氧化锂(Li₂O)＝(0-95)∶(100～5)。

6.根据权利要求5所述的复合蓝水晶衬底基片的制备方法，其特征在于硅酸锂(Li₂SiO₂)/氧化锂(Li₂O)＝＝76∶24。

7.根据权利要求3所述的复合蓝水晶衬底基片的制备方法，其特征在于所述的电阻炉是硅碳棒炉。