[发明专利]适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构无效
| 申请号： | 200810060160.X | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101277099A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;韩雁;赵士恒;程维维;王德苗;李侃 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13 |
| 代理公司： | 杭州君易知识产权代理事务所 | 代理人： | 陈向群 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用于 fbar 金属 布拉格 声波 反射层 结构 | ||
1、适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，包括高声抗阻层和低声抗阻层，其特征在于所述高声抗阻层和低声抗阻层为金属薄膜，其中高声抗阻层由钨与钼中的一种材料构成，低声抗阻层由金属铝构成，所述高声抗阻层与低声抗阻层交替叠合而成。
2、根据权利要1所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层依次按照Mo-Al-Mo-Al-Mo-Al的顺序交替叠合而成。
3、根据权利要1所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的层数相对应，其层数为3-7层。
4、根据权利要1所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为1/4声波波长。
5、根据权利要1所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为3/4声波波长。
6、根据权利要2所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为1/4声波波长。
7、根据权利要2所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为3/4声波波长。
8、根据权利要2所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的层数相对应，其层数为3-7层。
9、根据权利要3所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为1/4声波波长。
10、根据权利要3所述的适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，其特征在于所述高声抗阻层与低声抗阻层的厚度为3/4声波波长。
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