[发明专利]一种高灵敏度微谐振腔光传感器无效
| 申请号： | 200810060460.8 | 申请日： | 2008-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101261222A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 戴道锌;何赛灵 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/17 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 谐振腔 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种高灵敏度微谐振腔光传感器，其特征在于包括输入波导(1)、微谐振腔(2)、输出波导(3)和光功率衰减器(4)，输入波导(1)和输出波导(3)分别与微谐振腔(2)耦合，置于微谐振腔(2)的两侧，输入波导(1)的一端为整个光传感器的光源接入端，输入波导(1)的另一端与光功率衰减器(4)的输入端相连，光功率衰减器(4)的输出端与输出波导(3)的一端相连，输出波导(3)的另一端为传感信号出射端。
2、根据权利要求1所述的高灵敏度微谐振腔光传感器，其特征在于微谐振腔(2)是微环、微盘、微球或光子晶体微腔。
3、根据权利要求1所述的高灵敏度微谐振腔光传感器，其特征在于微谐振腔(2)是微环、微盘、微球和光子晶体微腔这几种结构的任意两个或多个的组合。
4、根据权利要求1所述的高灵敏度微谐振腔光传感器，其特征是光功率衰减器(4)为弯曲光波导、Y分支、方向耦合器、多模干涉耦合器或马赫-泽德干涉仪，或为两根在连接处具有间隙或横向偏移的光波导。
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