[发明专利]一种多晶硅定向长晶热场结构无效
| 申请号： | 200810063024.6 | 申请日： | 2008-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101323973A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 赵波;徐芳华;孙海梁 | 申请（专利权）人： | 绍兴县精工机电研究所有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人： | 戴晓翔 |
| 地址： | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 定向 长晶热场 结构 | ||
【权利要求书】：
1、一种多晶硅定向长晶热场结构，包括保温隔热笼体(1)，置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5)，其特征在于保温隔热笼体(1)的底部还设有可上下垂直运动的保温隔热底板(2)，保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3)。
2、按权利要求1所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述的保温隔热笼体(1)底部与保温隔热底板(2)的表面直接连接。
3、按权利要求1所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述的保温隔热笼体(1)底部为L型结构并与保温隔热底板(2)两端错位连接。
4、按权利要求1所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述的保温隔热底板(2)两端为L型结构并与保温隔热笼体(1)底部错位连接。
5、按权利要求1或2或3所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述的保温隔热底板(2)在支撑导杆(4)的作用下上下垂直运动。
6、按权利要求1所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述保温隔热笼体(1)的侧面与热交换台(5)之间还设有保温隔热隔板(7)。
7、按权利要求1所述的一种多晶硅定向长晶热场结构，其特征在于所述的加热器(6)和保温隔热底板(2)分别由外设的控制器(8)控制。
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