[发明专利]薄壁微结构零件研抛装置

权利要求书

1.薄壁微结构零件研抛装置，它由工作台(1)、上主轴套(2)、下主轴套(3)、主轴(4)、研抛头(5)、夹具(6)和电容传感器(7)组成；其特征在于下主轴套(3)固装在工作台(1)上的y轴电动工作台(1-2)上，上主轴套(2)固装在下主轴套(3)上，主轴(4)的一端置于上主轴套(2)与下主轴套(3)之间，主轴(4)的另一端与研抛头(5)固接，夹具(6)安装在工作台(1)的精密旋转台(1-4)上，电容传感器(7)安装在夹具(6)内。

2.根据权利要求1所述的薄壁微结构零件研抛装置，其特征在于工作台(1)由x轴精密平移台(1-1)、y轴电动工作台(1-2)、z轴电动工作台(1-3)、精密旋转台(1-4)和支架(1-5)组成；z轴电动工作台(1-3)固装在支架(1-5)的水平平台(1-1 1)上，y轴电动工作台(1-2)位于x轴精密平移台(1-1)与支架(1-5)的垂直构件(1-12)之间，y轴电动工作台(1-2)与支架(1-5)的垂直构件(1-12)固接，x轴精密平移台(1-1)安装在z轴电动工作台(1-3)上，精密旋转台(1-4)安装在x轴精密平移台(1-1)上。

3.根据权利要求1或2所述的薄壁微结构零件研抛装置，其特征在于y轴电动工作台(1-2)由电机(1-6)、底板(1-7)、丝杠(1-8)、溜板(1-9)和丝母(1-10)组成；底板(1-7)固装在支架(1-5)上，电机(1-6)固装在底板(1-7)的上端面上，丝杠(1-8)的一端与电机(1-6)的输出轴传动连接，丝杠(1-8)的另一端与底板(1-7)转动配合，丝母(1-10)与丝杠(1-8)配合，溜板(1-9)的一侧面与丝母(1-10)固接，溜板(1-9)的另一侧面与下主轴套(3)固接。

4.根据权利要求1所述的薄壁微结构零件研抛装置，其特征在于研抛头(5)由抛光轮(5-1)和细轴(5-2)组成；细轴(5-2)的一端与抛光轮(5-1)固接，细轴(5-2)的另一端与主轴(4)固接。