[发明专利]并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置

权利要求书

1.一种并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于它由动光栅部件(1)、定光栅部件(4)、五个直线驱动器、二维运动平台部件(7)、基座(6)组成；所述二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，所述动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，所述定光栅部件(4)固装在基座(6)上，所述五个直线驱动器分别是第一X轴直线驱动器(2)、第二X轴直线驱动器(8)、第三X轴直线驱动器(9)、第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)，所述第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，所述第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，所述每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。

2.根据权利要求1所述的并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于所述每个直线驱动器由柔性连接轴(10)、微动柔性铰链部件(11)、丝母座(12)、宏动丝杠(13)、宏动步进电机(14)、柔性连轴器(15)、轴承座部件(16)、丝母(17)、宏动锁紧件(18)、宏动静直线导轨(19)、宏动动直线导轨(20)、驱动器基座(21)、锁定垫块(22)组成；所述柔性连接轴(10)的两端分别与微动柔性铰链部件(11)和丝母座(12)相连接，所述宏动丝杠(13)的输入端穿过丝母座(12)和丝母(17)的内螺纹孔及轴承座部件(16)的轴孔与柔性连轴器(15)的输出端传动连接，柔性连轴器(15)的输入端与宏动步进电机(14)的输出轴传动连接，丝母座(12)靠近轴承座部件(16)一侧的外端面与丝母(17)固接，丝母座(12)和宏动动直线导轨(20)均与宏动锁紧件(18)固接，宏动静直线导轨(19)沿纵向固定在驱动器基座(21)上，宏动动直线导轨(20)装在宏动静直线导轨(19)上且与其滑动配合，宏动锁紧件(18)装在锁定垫块(22)上，宏动锁紧件(18)与锁定垫块(22)之间留有间隙，锁定垫块(22)和轴承座部件(16)均固装在驱动器基座(21)上，驱动器基座(21)与基座(6)固接，微动柔性铰链部件(11)与动光栅部件(1)固接。

3.根据权利要求2所述的并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于所述宏动锁紧件(18)上设有弧形槽(23)。

4.根据权利要求2所述的并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于所述微动柔性铰链部件(11)由微动柔性铰链(24)、微动压电陶瓷件(25)、压电陶瓷座(26)、压电陶瓷钢球(27)、柔性铰链紧定螺钉(28)、压电陶瓷紧定螺钉(29)、螺母(30)组成；所述微动柔性铰链(24)的一端通过压电陶瓷钢球(27)与微动压电陶瓷件(25)的一端柔性连接，微动柔性铰链(24)的另一端与丝母座(12)相连接，微动柔性铰链(24)装在压电陶瓷座(26)上，压电陶瓷座(26)与动光栅部件(1)固接，微动柔性铰链(24)通过压电陶瓷紧定螺钉(29)与压电陶瓷座(26)轴向连接，微动柔性铰链(24)通过柔性铰链紧定螺钉(28)与压电陶瓷座(26)沿竖直方向连接，微动压电陶瓷件(25)的另一端穿过压电陶瓷座(26)的中心轴孔与螺母(30)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于所述二维运动平台部件(7)由Y向动直线导轨(31)、Y向静直线导轨(32)、钢球(33)、X向动直线导轨(34)、X向静直线导轨(35)、过渡圆板(36)、钢球托板(37)、导轨底板(38)组成；所述X向静直线导轨(35)与导轨底板(38)固接，导轨底板(38)固装在基座(6)上，X向动直线导轨(34)装在X向静直线导轨(35)上且与其滑动配合，X向动直线导轨(34)的上端面与过渡圆板(36)的下端面固接，过渡圆板(36)的上端面与Y向静直线导轨(32)的下端面固接，Y向动直线导轨(31)装在Y向静直线导轨(32)上且与其滑动配合，Y向动直线导轨(31)的上端面与钢球托板(37)的下端面固接，钢球托板(37)的上端面设有球窝，所述钢球(33)装在钢球托板(37)的球窝内。