[发明专利]一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台

权利要求书

1、一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，它由底座、运动平台和六个压电陶瓷驱动支链组成，底座由第一平板(1)、第二平板(8)和第三平板(16)组成，第一平板(1)的Q端与第二平板(8)的R端连接为一体，第三平板(16)的P端与第一平板(1)的N端连接为一体，第三平板(16)的T端与第二平板(8)的S端连接为一体，第一平板(1)与第二平板(8)相互垂直设置，第三平板(16)分别与第一平板(1)和第二平板(8)相互垂直设置；运动平台由第四平板(6)、第五平板(13)和第六平板(20)组成，第四平板(6)的G端与第五平板(13)的H端连接为一体，第六平板(20)的L端与第四平板(6)的M端连接为一体，第六平板(20)的J端与第五平板(13)的K端连接为一体，第四平板(6)和第五平板(13)相互垂直设置，第六平板(20)分别与第四平板(6)和第五平板(13)相互垂直设置；第一平板(1)和第五平板(13)相互平行设置，第二平板(8)和第六平板(20)相互平行设置，第三平板(16)和第四平板(6)相互平行设置；第一压电陶瓷驱动支链(4)和第二压电陶瓷驱动支链(15)相互平行设置，第一压电陶瓷驱动支链(4)的第一端(5)和第二压电陶瓷驱动支链(15)的第一端(7)分别与第四平板(6)相连接，第一压电陶瓷驱动支链(4)的第二端(19)和第二压电陶瓷驱动支链(15)的第二端(17)分别与第三平板(16)相连接；第三压电陶瓷驱动支链(3)和第四压电陶瓷驱动支链(21)相互平行设置，第三压电陶瓷驱动支链(3)的第一端(2)和第四压电陶瓷驱动支链(21)的第一端(22)分别与第一平板(1)相连接，第三压电陶瓷驱动支链(3)的第二端(9)和第四压电陶瓷驱动支链(21)的第二端(14)分别与第五平板(13)相连接；第五压电陶瓷驱动支链(24)和第六压电陶瓷驱动支链(11)相互平行设置，第五压电陶瓷驱动支链(24)的第一端(23)和第六压电陶瓷驱动支链(11)的第一端(18)分别与第六平板(20)相连接，第五压电陶瓷驱动支链(24)的第二端(12)和第六压电陶瓷驱动支链(11)的第二端(10)分别与第二平板(8)相连接；所述每个压电陶瓷驱动支链均由第一柔性铰链(41)、直线微位移运动副(42)、压电叠层作动器(44)和第二柔性铰链(45)组成，第一柔性铰链(41)与直线微位移运动副(42)的一端连接为一体，第二柔性铰链(45)与直线微位移运动副(42)的另一端连接为一体，直线微位移运动副(42)的中间开有通透的空间(43)，压电叠层作动器(44)设置在所述通透的空间(43)内并与直线微位移运动副(42)固定连接；其特征在于：所述运动平台和底座相互扣在一起呈正方体形状，六个压电陶瓷驱动支链处于正方体内。

2、根据权利要求1所述的一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，其特征在于：所述直线微位移运动副(42)为柔性铰链八杆机构式移动副。

3、根据权利要求1所述的一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，其特征在于：所述第一柔性铰链(41)和第二柔性铰链(45)均为球铰型柔性铰链。

4、根据权利要求1所述的一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，其特征在于：所述运动平台和底座的材质为40Cr合金钢。

5、根据权利要求1所述的一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动支链的材质为65Mn弹簧钢。

6、根据权利要求1所述的一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，其特征在于：所述第二柔性铰链(45)为虎克铰型柔性铰链。