[发明专利]硅化铁纳米线的制备方法有效
申请号: | 200810066399.8 | 申请日: | 2008-04-03 |
公开(公告)号: | CN101549869A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 孙海林;姜开利;李群庆;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | C01B33/06 | 分类号: | C01B33/06;B82B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084北京市海淀区清华园1*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 硅化铁 纳米 制备 方法 | ||
1.一种硅化铁纳米线的制备方法,其具体包括以下步骤:
提供一生长装置,且该生长装置包括一加热炉以及一反应室;
提供一定量的铁粉与一生长基底,并将该铁粉与生长基底间隔置入反应室内;向反应室通入硅源气体,并加热至600~1200℃,在生长基底上生长得到硅化铁纳米线。
2.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述铁粉在使用前先用稀释的酸性溶液浸泡2~10分钟。
3.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述生长基底为一硅片、石英片、蓝宝石或玻璃。
4.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述反应室包括一入气口与一出气口,且该生长基底置于铁粉正上方或置于铁粉与出气口之间。
5.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,向反应室通入硅源气体前,先向反应室通入流量为20~1000毫升/分的氢气。
6.如权利要求5所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,向反应室通入氢气前,先向反应室通入流量为200~2000毫升/分的保护气体。
7.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体的流量为10~1000毫升/分。
8.如权利要求7所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体为硅烷及其衍生物中的一种或多种。
9.如权利要求8所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体为四氯化硅。
10.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,该方法制备的硅化铁纳米线的直径为10~500纳米,长度为100纳米~100微米。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,未经清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810066399.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双金片与钉珠混合电脑绣花机
- 下一篇:三金片与衍缝混合电脑绣花机