[发明专利]硅化铁纳米线的制备方法有效

专利信息
申请号: 200810066399.8 申请日: 2008-04-03
公开(公告)号: CN101549869A 公开(公告)日: 2009-10-07
发明(设计)人: 孙海林;姜开利;李群庆;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: C01B33/06 分类号: C01B33/06;B82B3/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100084北京市海淀区清华园1*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅化铁 纳米 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种硅化铁纳米线的制备方法,其具体包括以下步骤:

提供一生长装置,且该生长装置包括一加热炉以及一反应室;

提供一定量的铁粉与一生长基底,并将该铁粉与生长基底间隔置入反应室内;向反应室通入硅源气体,并加热至600~1200℃,在生长基底上生长得到硅化铁纳米线。

2.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述铁粉在使用前先用稀释的酸性溶液浸泡2~10分钟。

3.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述生长基底为一硅片、石英片、蓝宝石或玻璃。

4.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述反应室包括一入气口与一出气口,且该生长基底置于铁粉正上方或置于铁粉与出气口之间。

5.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,向反应室通入硅源气体前,先向反应室通入流量为20~1000毫升/分的氢气。

6.如权利要求5所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,向反应室通入氢气前,先向反应室通入流量为200~2000毫升/分的保护气体。

7.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体的流量为10~1000毫升/分。

8.如权利要求7所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体为硅烷及其衍生物中的一种或多种。

9.如权利要求8所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,所述硅源气体为四氯化硅。

10.如权利要求1所述的硅化铁纳米线的制备方法,其特征在于,该方法制备的硅化铁纳米线的直径为10~500纳米,长度为100纳米~100微米。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,未经清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810066399.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top