[发明专利]一种化学沉铜液的组成及其制备方法

权利要求书

1.一种化学沉铜液，包括硫酸铜、甲醛、EDTA、柠檬酸钠、氢氧化钠、吡啶类物质、炔醇聚合物以及聚乙二醇，浓度如下：

2.一种化学沉铜液的制备方法，包括四种沉铜原液的制备：

原液A：将1L硫酸溶于35L纯水中，依次加入178～183kg硫酸铜、177～182甲醛、80～90kg柠檬酸钠和4.9～5.1L炔醇聚合物，循环过滤；

原液B：将265～275kg氢氧化钠与水以1∶1(重量比)溶解，冷却至室温，加入95～105kgEDTA，再加入798～802g聚乙二醇；

原液M：将19.5～21kg氢氧化钠与水以1∶1(重量比)溶解，依次加入168～172kg柠檬酸钠以及195～205kg EDTA；

原液C：将500L工业酒精以1∶1(体积比)溶于水中，加入4kg联吡啶；

所述沉铜液的制备是将所述四种沉铜原液按下列份量添加：去离子水80L，原液M 10L，原液A 6L，原液B 4L，原液C 0.3ml/L。

3.根据权利要求2所述的化学沉铜液的制备方法，其特征在于，所述沉铜液的制备是将所述四种沉铜原液按下列顺序依次添加：在去离子水中，先加入原液M，然后加入原液A，再加入原液B，最后加入原液C。

4.根据权利要求2所述的化学沉铜液的制备方法，其特征在于，所述沉铜液在制备时的初始温度为36～42℃。

5.根据权利要求2所述的化学沉铜液的制备方法，其特征在于，所述沉铜液在制备过程中，pH值为12.8～13。