[发明专利]薄膜晶体管基板与薄膜晶体管母基板有效

专利信息
申请号: 200810067675.2 申请日: 2008-06-06
公开(公告)号: CN101599496A 公开(公告)日: 2009-12-09
发明(设计)人: 简传枝;黄上育;谢朝桦 申请(专利权)人: 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L23/482;H01L23/52;G02F1/1362
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 母基板
【权利要求书】:

1.一种薄膜晶体管母基板,其包括一绝缘基底、多个薄膜晶体管阵列和多个线路区,该薄膜晶体管阵列和该线路区设置于该绝缘基底的同一表面,每一线路区包括多条线路,该多个薄膜晶体管阵列通过线路区的多条线路电连接,其特征在于:每一线路包括至少两个金属部分和桥接保护部分,该至少两个金属部分通过该桥接保护部分电连接,该桥接保护部分的构成材料是一种抗腐蚀的导电材料。

2.如权利要求1所述的薄膜晶体管母基板,其特征在于:该至少两个金属部分包括两个第一金属部分和一个第二金属部分,该两个第一金属部分分别电连接该薄膜晶体管阵列,该第一金属部分与该第二金属部分通过该桥接保护部分电连接。

3.如权利要求2所述的薄膜晶体管母基板,其特征在于:每一第一金属部分与第二金属部分之间有一沟槽,该桥接保护部分覆盖该沟槽,并填充该沟槽。

4.如权利要求1、2或3中任意一项所述的薄膜晶体管母基板,其特征在于:该抗腐蚀的导电材料是氧化铟锌或氧化铟钛。

5.如权利要求4所述的薄膜晶体管母基板,其特征在于:该薄膜晶体管阵列包括多个像素电极,构成该像素电极的材料与该桥接保护部分相同,该像素电极与该桥接保护部分在同一掩膜工艺中形成。

6.一种薄膜晶体管基板,其包括一绝缘基底、一薄膜晶体管阵列和多条线路,该薄膜晶体管阵列和该多条线路设置于该绝缘基底的同一表面,其特征在于:每一条线路包括一第一金属部分、一第二金属部分和一桥接保护部分,该第一金属部分电连接该薄膜晶体管阵列,该第二金属部分用于电连接一外部电路,该第二金属部分与该第一金属部分通过该桥接保护部分电连接,该桥接保护部分的构成材料是一种抗腐蚀导电材料。

7.如权利要求6所述的薄膜晶体管基板,其特征在于:该第一金属部分与该第二金属部分之间有一沟槽,该桥接保护部分覆盖并填充该沟槽。

8.如权利要求6或7所述的薄膜晶体管基板,其特征在于:该抗腐蚀导电材料是氧化铟锌或氧化铟钛。

9.如权利要求8所述的薄膜晶体管基板,其特征在于:该薄膜晶体管阵列包括多个像素电极,构成该像素电极的材料与该桥接保护部分相同,该像素电极与该桥接保护部分在同一掩膜工艺中形成。

10.一种薄膜晶体管基板,其包括一绝缘基底、一薄膜晶体管阵列和多条线路,该薄膜晶体管阵列和该多条线路设置于该绝缘基底的同一表面,其特征在于:每一条线路包括一第一金属部分、一第二金属部分和一桥接保护部分,该第一金属部分电连接该薄膜晶体管阵列,该第二金属部分用于电连接一外部电路,该第二金属部分与该第一金属部分通过该桥接保护部分电连接,该桥接保护部分可以防止金属部分的腐蚀通过该桥接保护部分。

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