[发明专利]一种压电元件及其制造方法

权利要求书

1.一种应用于超声换能器和传感器的压电元件，包括多个并联的压电片，其特征在于，该多个压电片按照相反的极化方向固定为一体，其中至少包括第一压电片和第二压电片，所述第一压电片及第二压电片厚度的设置，使振动波信号从所述第一压电片一端面沿其极化方向传播到另一端面的时间与从所述第二压电片一端面沿其极化方向传递到另一端面的时间不相等，用于拓宽超声波输出和响应的频率带宽；每个压电片与其极化方向垂直的端面上制备粘接面电极，并且所述粘接面电极延伸至压电片的侧面。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第一压电片的材料与所述第二压电片的材料相同，并且所述第一压电片沿其极化方向的厚度与所述第二压电片沿其极化方向的厚度不相等。

3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电片为压电陶瓷材料的压电片。

4.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电片为压电单晶材料的压电片。

5.一种应用于超声换能器和传感器的压电元件的制造方法，包括以下步骤：

S1、制备多个压电片，该多个压电片中至少包括第一压电片和第二压电片，所述第一压电片中沿其极化方向传递振动波信号的时间与所述第二压电片中沿其极化方向传递所述振动波信号的时间不等，用于拓宽超声波输出和响应的频率带宽；

S2、将所述多个压电片并联；所述步骤S2包括：

S21、在每个压电片与其极化方向垂直的端面上制备粘接面电极、并延伸至压电片的侧面；

S22、按相反的极化方向将多个压电片粘接固定；

S23、连接多个压电片上相同极性的电极，形成压电元件的两个电极。

6.根据权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，当所述第一压电片的材料与所述第二压电片的材料相同时，所述第一压电片沿其极化方向的厚度与所述第二压电片沿其极化方向的厚度不相等。

7.根据权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，所述步骤S23采用：先在多个压电片相同极性的电极固定导线，然后在所述导线上形成导电膜。

8.根据权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，所述步骤S23采用导电粘接剂连接多个压电片上相同极性的电极，形成压电元件的两个电极。