[发明专利]光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台

权利要求书

1.光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于设有二维柔性铰链平台、横向压电陶瓷驱动器、纵向压电陶瓷驱动器、横向光纤位移传感器和纵向光纤位移传感器；二维柔性铰链平台上设有横向安装孔和纵向安装孔，以及横向光纤安装道和纵向光纤安装道，横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器分别设于横向安装孔中和纵向安装孔中，横向光纤位移传感器设有横向光纤，纵向光纤位移传感器设有纵向光纤，横向光纤和纵向光纤分别设于横向光纤安装道和纵向光纤安装道中，横向光纤安装道及纵向光纤安装道均设有弯齿结构，横向光纤和纵向光纤的输出端外接检测闭环控制装置；

所述横向压电陶瓷驱动器设有压电陶瓷元件、导线和连接件，压电陶瓷元件设于连接件上，导线一端与压电陶瓷元件连接，导线另一端外接检测闭环控制装置，连接件与横向安装孔连接，纵向压电陶瓷驱动器设有压电陶瓷元件、导线和连接件，压电陶瓷元件设于连接件上，导线一端与压电陶瓷元件连接，导线另一端外接检测闭环控制装置，连接件与纵向安装孔连接。

2.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于横向压电陶瓷驱动器的连接件与横向安装孔的连接为螺纹连接。

3.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于纵向压电陶瓷驱动器的连接件与纵向安装孔的连接为螺纹连接。

4.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于横向安装孔是设于二维柔性铰链平台侧面，且位于二维柔性铰链平台的横向中心线上。

5.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于纵向安装孔是设于二维柔性铰链平台侧面，且位于二维柔性铰链平台的纵向中心线上。

6.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于横向光纤安装道的弯齿结构为齿形对合槽。

7.如权利要求1所述的光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于纵向光纤安装道的弯齿结构为齿形对合槽。