[发明专利]用于通过粒子束和光学显微镜观测样品的设备

权利要求书

1.一种用于使用粒子束对薄样品(1)成像和通过光线对所述样品成像的粒子-光学设备，所述设备包括：

用于沿粒子-光学轴线(3)产生粒子束的粒子源(2)，

布置在所述粒子-光学轴线周围用于操纵所述粒子束的粒子-光学透镜(4A、4B、4C、4D、7)，

用于将所述样品定位在所述粒子-光学轴线上和其中一个所述粒子-光学透镜的所谓粒子-光学物镜(7)的极面(8A、8B)之间的样品操纵器(5)，所述样品操纵器能够相对于所述粒子-光学轴线倾斜所述样品，

用于探测透射过所述样品的粒子的探测器(9)，和

光线-光学显微镜(10)，

其特征在于，

所述光线-光学显微镜配备成在所述样品大致定位在所述粒子-光学轴线上并倾斜成使得所述样品面对所述光线-光学显微镜时对所述样品成像，

所述光线-光学显微镜是所谓的扫描光线-光学显微镜，配备成用光斑照亮所述样品，所述光斑由聚焦单元(11)形成，所述光线-光学显微镜配备成扫描所述样品上的点，和

至少所述聚焦单元可缩回地安装，以便当使用所述粒子束对所述样品成像时释放所述极面之间的空间。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述聚焦单元(11)还聚集从所述样品(1)放射的光线，用于对所述样品成像。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，自所述样品(1)探测到的用以形成图像的所述光线不经过所述聚焦单元(11)。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，自所述样品(1)探测到的所述光线自与所述样品被照亮侧相反的样品侧放射。

5.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，所述光束为单色光束。

6.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，所述光线-光学轴线大致垂直于所述粒子-光学轴线(3)。

7.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，所述样品位置至少部分地由低温屏蔽物包绕，从而能够对低温地冷却的样品成像。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，至少所述光线-光学显微镜(10)面对所述样品(11)的部分配备成冷却至低温温度，从而避免在通过所述光线-光学显微镜观测时对低温样品的升温。

9.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，所述光线-光学显微镜(10)进一步配备成通过非聚焦光束形成照亮所述样品(1)的图像。