[发明专利]用于检测电试样的电检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检测电试样尤其是晶片的电检测装置，特别涉及一种可以在极端的检测条件下对电试样进行可靠地检测的电检测装置，该电检测装置包括一个接触器以及具有至少一个电/电子部件的连接装置，该接触器能和电试样相接触，该连接装置包括一个和该接触器进行触点接触的接触面，并且该连接装置还包括有一个导体底座以及一个连接元件。

背景技术

现有电检测装置进行检测时，其电性连接一个电试样件来测试该电试样的性能。该电检测装置同电试样件建立导电连接，就是说，它一面同电试样导电连接，另一面通过接触点和一测试系统连接，检测系统通过检测装置把电子信号传给电试样，以用来实现一个性能测试，例如电阻测试，电流、电压测试等。因为电试样经常是一个极其小的电子元件，例如晶片(Wafer)，因此要求接触器具有对应尺寸的接触元件。为了使该电试样连接到检测系统，接触器的接触元件同一个连接装置一起处于接触点中，连接装置将待测的电子元件的较小间隙转变到了一个较大的接触空隙上，从而实现了通向检测系统的电连接线的连接。在所谓的“电线检测卡”(Wired Test Card)中，电线从接触面通向导体底座的接触点和/或通向位于导体底座上的电/电子部件。这些电/电子部件保证了检测卡的性能，就是说它促成了相应的电子特性。电/电子部件焊在按照印刷线路板而设计的导体底座上。

在现有的电检测装置中，可能会出现在一定的检测条件下的限制性，例如，当以非常高的电子频率实行检测时。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中检测条件受限制的缺陷，提供一种用于检测电试样的电检测装置，该用于检测电试样的电检测装置可以实现在极端的检测条件下对电试样进行可靠地检测。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种用于检测电试样的电检测装置，其包括一个接触器以及具有至少一个电/电子部件的连接装置，该接触器能和电试样相接触，该连接装置包括一个和该接触器进行触点接触的第一接触面，并且该连接装置还包括有一个导体底座以及一个连接元件，其实质性特点在于，该电/电子部件设置在该连接元件的里面或旁边。

本发明将电/电子部件设于连接元件的里面或旁边，按照本发明这样的设置可以使在电试样和电/电子部件之间的导线长度明显变短，因为电/电子部件位于连接元件的里面或旁边。连接元件置于离电试样很近的位置；接触器位于电试样和连接元件中间。通过电/电子部件和电试样之间较短的导线长度，提高电/电子部件的作用和性能，电试样可以在特别高频率下检测。在连接元件里面或旁边的电/电子部件的定位不但非常接近于电试样，而且特别安排在一个确保接触器的接头的分配的区域，以此通过这个方式显示了一个特质。在本发明装置中有一个特别的所谓的“电线检测卡”。

优选地，该连接元件为连接壳体或者连接底盘，并且该电/电子部件较佳地位于连接壳体的里面或旁边，或者该电/电子部件位于连接底盘的里面或旁边。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，为连接壳体或者连接底盘的连接元件具有至少一个用来容纳电/电子部件的容纳部。该电/电子部件通过表面贴装技术(SMT)实现。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，为连接壳体或者连接底盘那样的连接元件包括第二接触面。因此至少有一个电/电子部件可以设置在第二接触面的附近，其中第二接触面可以通过接触器和电试样相触点连接。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，该导体底座为印刷线路板。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，该导体底座具有一个敞开口，为连接壳体或者连接底盘的连接元件的局部部分位于该敞开口中。敞开口的作用在于：容纳连接元件，也就是说，连接元件将会从导体底座，特别从印刷线路板环绕。优选的是，连接元件位于用来安置导体底座的中央，就是说，敞开口在导体底座或者实际的中央。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，该容纳部为深洞或破口。通过深洞或者破口的容纳部，电/电子部件可以设置于该容纳部中而得到保护，而且该电/电子部件还是可以从外部进入，为了例如在有损坏的情况下可以替换。

根据本发明，进一步的结构可以这样设计，该接触器为接触头。较佳地，该接触器内具有多个接头，该接头为触针，特别为曲针，该接头一端与第二接触面相触点接触，另一端同电试样相触点接触。这些接头优选为触点接头。