[发明专利]抛光头有效
| 申请号： | 200810079277.2 | 申请日： | 2008-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101342681A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 种宝春;柳滨;周国安 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047;H01L21/304 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
1.一种抛光头，其特征是它包括转动轴(101)，沿转动轴(101)由上至下依次设有上盖盘(110)、传动盘(102)、基盘(104)、围持环(108)和背膜(107)，所说传动盘(102)与转动轴(101)固定，上盖盘(110)与基盘(104)固定，传动盘(102)上装有弹簧顶销(114)，弹簧顶销(114)的上端部与上盖盘(110)的内上表面相接触，传动盘(102)与基盘(104)间设有传动销(103)，背膜(107)贴覆于基盘(104)的下表面上，背膜(107)其周圈设固定环(113)与基盘(104)固定，围持环(108)沿圆周均布有三个或三个以上的悬吊杆，悬吊杆与基盘(104)所设的悬吊孔相配合，与悬吊杆对应设置的弹簧柱塞(117)安装在上盖盘(110)上，弹簧柱塞(117)的下端顶在悬吊杆的杆体上，传动盘(102)与基盘(104)间设有活动平衡关节装置，所说活动平衡关节装置包括环形水囊(105)、球状拨块(111)、固定板(112)和底盘(106)，所说底盘(106)与基盘(104)固定，环形水囊(105)置于底盘(106)的凹槽内，环形水囊(105)的上表面与传动盘(102)的下表面相接触，球状拨块(111)固定在转动轴(101)的端部，球状拨块(111)与固定板(112)的轴孔间为过渡配合。
2.根据权利要求1所述的抛光头，其特征是所说基盘(104)下表面固定有一层多孔陶瓷片，且该层陶瓷片是由同心的圆饼多孔陶瓷块(301)、小环形多孔陶瓷块(302)和大环形多孔陶瓷块(303)相互间隔构成的三个独立的区域，每个陶瓷块均设有一个压缩空气通气孔(118)，每个通气孔(118)均通过快换接头(116)及管道各与沿转动轴(101)轴向所设的两路以上的压缩空气气道(115)中的一路压缩空气气道连通。
3.根据权利要求1所述的抛光头，其特征是所说围持环(108)的凹槽内设有环形气囊(109)，环形气囊(109)的上表面与固定环(113)的下表面相接触，环形气囊(109)与转动轴(101)轴向所设的两路以上的压缩空气气道(115)中的一路气道间连接有快换接头(116)和连通管道。
4.根据权利要求1所述的抛光头，其特征是所说传动销(103)与基盘(104)固定，传动销(103)上端与传动盘(102)所设U形开口槽相配合。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所，未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810079277.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
