[发明专利]显微测量装置

权利要求书

1.一种显微测量装置，其特征在于，具有：

使来自样品的光成为平行光线的物镜；

用于会聚来自所述物镜的平行光线的第1中间透镜；

设置在所述第1中间透镜的与所述物镜相反一侧的半透半反镜，该半透半反镜使通过所述物镜和所述第1中间透镜的光的一部分通过，并使一部分反射；

固定所述物镜、所述第1中间透镜、和所述半透半反镜的镜筒；

在被所述半透半反镜反射的光通过的位置上设置的第2中间透镜，该第2中间透镜可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；

设置在所述第2中间透镜的与所述半透半反镜相反一侧的检测器，该检测器可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；

移动所述第2中间透镜的第1移动机构；

移动所述检测器的第2移动机构；以及

控制部，调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量，使得所述检测器的成像位置与来自所述样品的光被第2中间透镜会聚后的会聚点一致。

2.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，

所述第1中间透镜和所述第2中间透镜的合成透镜的焦距fm由下式给出：

1/fm＝(1/f1)+(1/f2)-D2/(f1×f2)，

其中，D2为第1中间透镜和第2中间透镜的距离，

f1为第1中间透镜的焦距，

f2为第2中间透镜的焦距，

显微测量的检测倍率A利用所述合成透镜的焦距fm和所述物镜Lo的焦距f₀由下式给出：

A＝fm/f₀，

所述控制部根据所述检测倍率A调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量。

3.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，还具有：

在直线通过所述半透半反镜的光通过的位置上被设置成可以沿该光路移动的第3中间透镜和观察用照相机；

移动所述第3中间透镜的第3移动机构；以及

移动所述观察用照相机的第4移动机构，

其中，所述控制部调节第3移动机构和/或第4移动机构的移动量，使得所述观察用照相机的成像位置与来自所述样品的光被第3中间透镜会聚后的会聚点一致。

4.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，

所述检测器具有作为光入射窗起作用的光纤探头，

所述控制部控制所述第1移动机构和/或所述第2移动机构的移动量，使得被所述第2中间透镜会聚的光的光点位置与该光纤探头的焦点位置一致。