[发明专利]可移动微器件

权利要求书

1.一种可移动微器件，包括：

可移动部件，包括可移动主要部分、第一电容器梳齿形电极以及第一驱动器梳齿形电极，所述第一电容器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿，所述第一驱动器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿；

框架，包括第二电容器梳齿形电极和第二驱动器梳齿形电极，所述第二电容器梳齿形电极具有朝向所述第一电容器梳齿形电极延伸的多个电极齿，所述第二驱动器梳齿形电极具有朝向所述第一驱动器梳齿形电极延伸的多个电极齿；以及

连接部件，将所述可移动部件与所述框架彼此连接；

其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极是由金属材料制成，并且具有在初始位置交叠的电极齿，

其中所述第一驱动器梳齿形电极和所述第二驱动器梳齿形电极是在同一材料层中制成，并且

其中所述可移动部件是可旋转的，用以改变所述第一驱动器梳齿形电极与所述第二驱动器梳齿形电极之间所述电极齿交叠的程度。

2.根据权利要求1所述的可移动微器件，其中所述第一驱动器梳齿形电极和所述第二驱动器梳齿形电极是在导电硅材料的同一材料层中制成。

3.根据权利要求1所述的可移动微器件，其中所述第一驱动器梳齿形电极和所述第二驱动器梳齿形电极是通过对所述材料层执行深反应离子蚀刻操作而同时形成。

4.根据权利要求1所述的可移动微器件，其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极至少其中之一包含选自Au、Ag、Cu及Al的金属。

5.根据权利要求1所述的可移动微器件，其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极至少其中之一是通过电镀形成。

6.一种可移动微器件，包括：

可移动部件，包括可移动主要部分、第一电容器梳齿形电极以及第一驱动器梳齿形电极，所述第一电容器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿，所述第一驱动器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿；

框架，包括第二电容器梳齿形电极和第二驱动器梳齿形电极，所述第二电容器梳齿形电极具有朝向所述第一电容器梳齿形电极延伸的多个电极齿，所述第二驱动器梳齿形电极具有朝向所述第一驱动器梳齿形电极延伸的多个电极齿；以及

连接部件，将所述可移动部件与所述框架彼此连接；

其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极是由金属材料制成，并且具有在初始位置交叠的电极齿，

其中所述第一驱动器梳齿形电极和所述第二驱动器梳齿形电极是由金属材料制成，并且

其中所述可移动部件是可旋转的，用以改变所述第一驱动器梳齿形电极与所述第二驱动器梳齿形电极之间所述电极齿交叠的程度。

7.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，其中所述第一驱动器梳齿形电极的电极齿从所述可移动主要部分的远离所述第一电容器梳齿形电极的电极齿的一侧延伸。

8.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，其中所述第一驱动器梳齿形电极的电极齿与所述第一电容器梳齿形电极的电极齿从所述可移动主要部分的同一侧延伸。

9.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，其中所述连接部件包括与所述可移动部件的所述第一电容器梳齿形电极电连接的导电部分。

10.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极至少其中之一具有未设置介电膜的表面。

11.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，设置为可变电容器，用以改变所述第一电容器梳齿形电极与所述第二电容器梳齿形电极之间的静电容量。

12.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，设置为传感器件，用以检测所述第一电容器梳齿形电极与所述第二电容器梳齿形电极之间的静电容量。

13.根据权利要求1或6所述的可移动微器件，利用电绝缘低粘性液体或电绝缘低粘性气体作为填充剂来封装。