[发明专利]纳米压印设备及方法

权利要求书

1.一种纳米压印设备(1)，包括：

第一可转动安装辊(10)，具有图案化圆周表面(11)，用于通过使所述图案化表面(11)与可变形基板(20)相接触而将图案从所述第一可转动安装辊(10)转印到所述基板(20)上；

第二可转动安装辊(30)，具有与所述第一可转动安装辊(10)的所述图案化表面(11)面对的基本平滑的圆周表面(31)，所述第二可转动安装辊(30)与所述第一可转动安装辊(10)可转动地结合，以便所述辊(10、30)同步转动；其中，

所述基板(20)可在所述辊(10、30)之间移动，使得当所述辊(10、30)相对于彼此转动时，所述第一可转动安装辊(10)的所述图案化表面(11)与所述基板(20)接触，从而所述图案从所述图案化表面(11)转印到所述基板(20)上。

2.根据权利要求1所述的纳米压印设备(1)，其中，所述第一和第二辊(10、30)中的至少一个被布置成当所述辊(10、30)相对于彼此转动时向另一个辊(10、30)施加压力。

3.根据权利要求2所述的纳米压印设备(1)，其中，所述压力在1-100bar正压范围内，优选地在10-40bar正压范围内。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的纳米压印设备(1)，其中，所述第二可转动安装辊(30)包括用于具有一定压力的介质的管状空腔(32)，所述空腔(32)的壁由隔膜(33)构成，所述隔膜的远离所述空腔(32)的一侧形成所述基本平滑的圆周表面(31)。

5.根据权利要求4所述的纳米压印设备(1)，进一步包括用于将所述介质的压力调节至1-100bar正压范围内、优选10-40bar正压范围内的压力的装置。

6.根据权利要求4或5所述的纳米压印设备，其中，所述隔膜(33)由柔性材料制成，优选由聚合物材料或薄金属、甚至更优选由塑料、橡胶或薄金属制成，所述隔膜(33)具有等于10mm、优选等于3mm、或甚至更优选等于1mm的厚度。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的纳米压印设备，其中，所述介质包括气体。

8.根据权利要求7所述的纳米压印设备，其中，所述介质包括空气。

9.根据前述权利要求中任一项所述的纳米压印设备，其中，所述第一可转动安装辊(10)具有等于5m、优选等于2m、甚至更优选等于1m的直径。

10.根据权利要求9所述的纳米压印设备，其中，所述第一可转动安装辊(10)具有等于2.5m、优选等于1.5m、甚至更优选等于1m的长度。

11.根据权利要求10所述的纳米压印设备，其中，所述第一可转动安装辊(10)的直径与长度之间的比例为1：2。

12.根据前述权利要求中任一项所述的纳米压印设备，其中，所述第二可转动安装辊(30)具有等于5m、优选等于2m、甚至更优选等于1m的直径。

13.根据权利要求12所述的纳米压印设备，其中，所述第二可转动安装辊(30)具有等于2.5m、优选等于1.5m、甚至更优选等于1m的长度。

14.根据权利要求13所述的纳米压印设备，其中，所述第二可转动安装辊(30)的直径与长度之间的比例为1∶2。

15.根据前述权利要求中任一项所述的纳米压印设备，进一步包括用于加热所述基板(20)的加热装置(40)，其中所述加热装置设置成在所述基板在所述第一和第二辊(10、30)之间移动之前加热所述基板(20)。

16.根据权利要求15所述的纳米压印设备，其中，所述加热装置为加热室，所述加热室设置成使得所述基板(20)可移动穿过所述加热室，从而在操作期间，在所述基板在所述第一和第二辊(10、30)之间移动之前，对所述基板(20)进行加热。