[发明专利]探针组合体、长形条的研磨装置及长形条的研磨方法

权利要求书

1.一种探针组合体，在研磨设置有将成为磁头滑块之元件的长形条时使用，其特征在于：该探针组合体包括可进行弹性弯曲变形的探针、向该探针提供弯曲变形使得该探针的前端部产生第一弯曲变位，且阻止该前端部的弯曲变位小于该第一弯曲变位，同时将该前端部保持在该第一弯曲变位内的制动件；其中，所述探针的前端部通过接受与所述第一弯曲变位相同方向并大于该第一弯曲变位的第二弯曲变位，而与设置在所述长形条研磨面以外的面上的电极触点相接触，使得在该探针与该电极触点之间确立电连接。

2.如权利要求1所述的探针组合体，其特征在于：所述探针是层积有导电层与弹性层的图形化探针，其中，所述导电层在所述前端部与所述电极触点相连接，所述弹性层则产生所述第一及第二弯曲变位。

3.如权利要求2所述的探针组合体，其特征在于：还包括探针支撑部，其至少局部支撑除所述前端部之外的部位；所述制动件中，靠近未由所述探针支撑部支撑的所述前端部的一侧设置有突起部，其发生弹性变形使所述探针前端部产生所述第一弯曲变位。

4.如权利要求2或3所述的探针组合体，其特征在于：所述导电层在远离所述前端部的位置处分支。

5.如权利要求2至4中任意一项所述的探针组合体，其特征在于：所述导电层是通过蚀刻形成的。

6.如权利要求2至5中任意一项所述的探针组合体，其特征在于：所述弹性层由导电体形成；所述探针还包括设置在所述导电层与弹性层之间的用于电绝缘该导电层与弹性层的绝缘层。

7.如权利要求6所述的探针组合体，其特征在于：所述弹性层由不锈钢材料制成；所述绝缘层由聚酰亚胺材料制成；所述导电层由铜材料制成。

8.如权利要求2至7中任意一项所述的探针组合体，其特征在于：包括相互独立的多个所述导电层，从而分别与多个所述电极触点相接触；每个导电层上都设置有所述弹性层。

9.如权利要求8所述的探针组合体，其特征在于：所述每个弹性层的弯曲刚性各不相同。

10.如权利要求2至7中任意一项所述的探针组合体，其特征在于：从所述导电层观察的所述弹性层的背面设置有弹性辅助层。

11.如权利要求10所述的探针组合体，其特征在于：包括相互独立的多个所述导电层，从而分别与多个所述电极触点相接触；每个导电层上都设置有所述弹性层。

12.如权利要求11所述的探针组合体，其特征在于：所述每个导电层或弹性辅助层的弯曲刚性各不相同。

13.如权利要求1至12中任意一项所述的探针组合体，其特征在于：还包括探针旋转机构，通过该机构在与发生所述第一及第二弯曲变位的面相同的面内旋转所述探针。

14.一种长形条的研磨装置，其包括：

权利要求1至3中任意一项记载的探针组合体；

可旋转的研磨台，通过在旋转的该研磨台上压接所述长形条对该长形条的研磨面进行研磨；

与所述探针组合体的导电层电性连接，并根据来自所述长形条的电极触点的信号计算该长形条之研磨量的控制装置；

支撑所述长形条使所述研磨面与所述研磨台对置的固定装置。

15.一种长形条的研磨方法，其包括以下工序：

提供长形条，该长形条上设置有将成为磁头滑块的元件；

向探针的导电层的前端部提供第一弯曲变位；

保持第一弯曲变位的状态下，在与产生所述第一弯曲变位的面相同的面内，沿与该第一弯曲变位相同的方向旋转所述探针；

将旋转的探针配置在电极触点的侧方，并进行该探针和与其对应的电极触点之间的定位，其中该电极触点形成在设置有将成为磁头滑块之元件的长形条的研磨面之外的面上；

沿与所述旋转方向相反的方向旋转所述探针，并将该探针的前端部接触到所述长形条的电极触点上，同时通过电极触点产生的按压力使该探针的前端部产生与所述第一弯曲变位相同方向且大于该第一弯曲变位的第二弯曲变位，从而确立探针与电极触点之间的电连接；

确立所述探针与所述电极触点之间的电连接的状态下，依据来自该电极触点的信号计算所述长形条的研磨量并研磨该长形条。