[发明专利]金属波导及其制造方法、光传输模块和热辅助磁记录头

权利要求书

1、一种包括金属体的金属波导，该金属体由导电金属形成并且包括孔，所述孔的输入端和输出端穿过所述金属体而形成，其中，所述孔包括：

弯曲部分，用于改变所述输入端和输出端之间的光传播方向；

锥形部分，位于所述弯曲部分和所述输出端之间，

其中，所述锥形部分的宽度朝着所述输出端逐渐减小，并且所述孔通过形成在所述金属体的内表面上的脊而形成为C形。

2、如权利要求1所述的金属波导，其中，当金属波导的厚度被定义在光传播的方向上时，金属波导从所述孔的弯曲部分至所述孔的锥形部分的厚度t_out大于金属波导从所述输入端至弯曲前部分的厚度t_in。

3、如权利要求2所述的金属波导，其中，确定厚度t_in，以使得针对从所述输入端至弯曲前部分的金属波导的部分，通过厚度谐振分析，入射光束的频率与厚度谐振频率一致。

4、如权利要求3所述的金属波导，其中，厚度t_in满足等式：

t_in＝0.25λ±Δt_res，α

其中，λ是光的波长，Δt_res，α是与前散射和谐振有关的厚度偏差。

5、如权利要求3所述的金属波导，其中，确定金属波导在锥形部分处的厚度t_tp，以使得针对金属波导的锥形部分，通过厚度谐振分析，入射光束的频率与厚度谐振频率一致。

6、如权利要求5所述的金属波导，其中，厚度t_tp满足等式：

t_tp＝0.25λ±Δt_res，γ

其中，λ是光的波长，Δt_res，γ是与后散射和谐振有关的厚度偏差。

7、如权利要求5所述的金属波导，其中，确定厚度t_out，以使得在厚度t_in和厚度t_tp固定的状态下，针对整个金属波导，通过厚度谐振分析，入射光束的频率与厚度谐振频率一致。

8、如权利要求7所述的金属波导，其中，厚度t_out满足等式：

t_out＝0.5λ±Δt_res，β

其中，λ是光的波长，Δt_res，β是与所述孔的弯曲部分处的散射和谐振有关的厚度偏差。

9、如权利要求1所述的金属波导，其中，所述金属体以及穿过金属体而形成的孔各具有宽度和小于其宽度的高度。

10、如权利要求1所述的金属波导，其中，所述孔填充有空气或电介质。

11、如权利要求1所述的金属波导，其中，所述脊的宽度和高度保持均匀。

12、一种制造如权利要求1所述的金属波导的方法，该方法包括：

在基底上形成金属层；

通过对一部分金属层进行蚀刻来形成弯曲形状的脊，以使得所述脊具有预定宽度和高度；

在所述脊和剩余金属层上沉积紫外线固化树脂；

通过对紫外线固化树脂进行部分硬化，形成围绕所述脊的弯曲的孔，所述孔在端部处具有宽度逐渐减小的锥形结构；

去除紫外线固化树脂的未硬化部分；

形成围绕所述孔的另一金属层。

13、一种光传输模块，包括：

第一金属波导，由导电金属体形成，并且在所述第一金属波导中设置有孔；

第二波导，将来自光源的光传输到第一金属波导，

其中，所述孔包括：

弯曲部分，用于改变输入端和输出端之间的光传播方向；

锥形部分，位于所述弯曲部分和所述输出端之间，

其中，所述锥形部分的宽度朝着所述输出端逐渐减小，并且所述孔通过形成在第一金属波导的内表面上的脊而形成为C形。

14、如权利要求13所述的光传输模块，其中，当第一金属波导的厚度被定义在光传播的方向上时，第一金属波导从所述孔的弯曲部分至所述孔的锥形部分的厚度t_out大于第一金属波导从所述输入端至弯曲前部分的厚度t_in。