[发明专利]用作化学气相沉积的前体的有机硅组合物的纯化方法

权利要求书

1.一种纯化含有烷氧基硅烷或羧基硅烷和碱性杂质的有机硅组合物的方法，该方法包括步骤：

有机硅组合物与酸性气体接触，与碱性杂质反应后，形成包含所述酸性气体盐的沉淀物；以及

除去所述酸性气体盐以形成纯化的有机硅产品。

2.权利要求1的方法，其中所述的有机硅组合物含有烷氧基硅烷。

3.权利要求2的方法，其中所述的烷氧基硅烷为二乙氧基甲基硅烷。

4.权利要求2的方法，其中所述的烷氧基硅烷选自：

式为R¹_n(R²O)_3-nSiH的化合物，其中R¹可独立地为H、C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、部分或全部氟化的；R²可独立地为C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、芳香性的、部分或全部氟化的，n为0，1或2；

式为R¹_n(R²O)_2-nHSi-O-SiHR³_m(OR⁴)_2-m的化合物，其中R¹和R³可独立地是H、C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、部分或全部氟化的；R²和R⁴可独立地是C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、芳香性的、部分或全部氟化的，n为0或1并且m为0，1或2；

式为R¹_n(R²O)_2-nHSi-SiHR³_m(OR⁴)_2-m的化合物，其中R¹和R³可独立地是H、C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、部分或全部氟化的，R²和R⁴可独立地是C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、芳香性的、部分或全部氟化的，n为0或1并且m为0，1或2；以及

式为R¹_n(R²O)_2-nHSi-R⁵-SiHR³_m(OR⁴)_2-m的化合物，其中R¹和R³可独立地是H、C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、部分或全部氟化的，R²和R⁴可独立地是C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、芳香性的、部分或全部氟化的，R⁵可独立地是C₁-C₁₀，直链或支链的、饱和的、单或多不饱和的、环状的、部分或全部氟化的，n为0或1并且m为0，1或2。

5.权利要求1的方法，其中所述的有机硅组合物含有羧基硅烷。