[发明专利]可进行复合测试的测试设备有效
申请号: | 200810086372.5 | 申请日: | 2008-03-25 |
公开(公告)号: | CN101251577A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 曾福山;庄庆文;张修明;洪宏庆;蔡曜鸿;孔祥汉 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/02;G01R1/073 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进行 复合 测试 设备 | ||
技术领域
本发明涉及一种测试设备,特别是关于一种具有复合式压货头而可进行复合测试的测试设备。
背景技术
现有的测试设备均具有一压货头装置(Pusher),该压货头装置用于将待测芯片向下压至测试座(Socket)上,使待测芯片上的电路接点(Lead或Pad)可与测试座中的测试探针(Probe Pin)实现电性连接。
然而,现有的压货头装置仅适用于对芯片的单面测试。即使该压货头装置具有若干个压货平面或吸货设计而可同时压迫多个待测芯片,但现有的该压货头装置仍只能提供压货的单一功能。
为适应如今芯片的功能增加与封装制造方法的进步,某些芯片的上下两面均设计有电路接点,如多芯片组件(Multi Chip Module,MCM)、系统封装(System in Package,SiP)等在封装过程中,双面均具有待测的电路接点。如单一测试设备无法提供同时测试上下两面电路接点的功能,则该芯片或封装组件在测试过程中必须使用不同的测试设备或更换不同的压货头装置,以反复进行多次测试。这样,将会显著增加测试流程的工时与成本。
因此,确有必要提供一种新的技术方案,以解决现有测试设备存在的上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可进行复合测试的测试设备,该测试设备具有复合式压货头,从而可对待测芯片进行复合测试。
为实现上述目的,本发明提供一种可进行复合测试的测试设备,该测试设备包括一压货头装置、一测试基座与若干个测试探针。该压货头装置用于吸取一待测物并将该待测物移动并放置于一预设位置后向下压,其包括至少一个复合压货头,用于电性连接该待测物一表面所设的相应电路接点,以及至少一个真空吸嘴,用于吸取该待测物。该测试基座位于该压货头装置下方,其包括用于收容该待测物的一容置空间以及若干个探针孔。该测试探针设置于该测试基座,当该压货头装置将该待测物向下压时,该测试探针可通过相应的探针孔与该待测物另一相对表面所设的相应电路接点实现电性连接。
该压货头装置上位于复合压货头外的区域可嵌入一个具有测试功能的IC。该复合压货头具有若干个复合测试探针,或该复合压货头也可仅嵌入至少一个具有测试功能的IC,同时也可将该复合测试探针及该具有测试功能的IC整合于该复合压货头内,用于电性连接该待测物的相应电路接点;该复合压货头的设计可视待测物的结构作相应结构上的调整。该测试基座位于该压货头装置下方,并固定于一底板上。
该压货头装置另设置有至少一个定位机构,而该测试基座则相应设置有至少一个定位孔。当该压货头装置将该待测物向下压时,该定位机构与该定位孔相互配合,从而可实现该压货头装置与该测试基座的相对位置的定位。
该待测物的形式可以是单一芯片或多芯片的封装组件,其顶面与底面均设有电路接点。当该压货头装置向下压时,该待测物顶面与底面的电路接点可同时分别与该复合压货头及该测试基座的测试探针实现电性连接,从而可同时实现对该待测物顶面与底面的相应电路接点的电性测试。
与现有技术相比较,本发明所提供的可进行复合测试的测试设备,利用压货头装置上所设置的复合压货头,使该测试设备可对上下两面均具有待测电路接点的待测物进行复合电性测试,使该待测物上下两面的电路接点可同时进行电性测试,而不需要移到另外一个测试基座或另外一台测试设备上再行测试。因此,本发明可进行复合测试的测试设备不但可减少测试流程所需要的工时,而且也可降低测试设备的设置成本。
以下结合附图与实施例对本发明作进一步的说明。
附图说明
图1为一封装模组的底面视图。
图2为该封装模组的顶面视图。
图3为本发明可进行复合测试的测试设备的结构示意图。
图4为压货头装置、封装模组与测试基座的立体分解图。
图5为压货头装置的底面立体视图。
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容,现就结合附图说明如下:
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