[发明专利]耐热真空绝热材无效
申请号: | 200810087260.1 | 申请日: | 2008-03-24 |
公开(公告)号: | CN101441038A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 长岛靖 | 申请(专利权)人: | 光洋热系统株式会社 |
主分类号: | F27D1/00 | 分类号: | F27D1/00;F27D1/10;F16L59/065;F16L59/05 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陆锦华;黄启行 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耐热 真空 绝热 | ||
技术领域
本发明涉及一种配置在加热装置等高温处理装置的外面的绝热材,特别涉及使由容纳了绝热体的耐热材料构成的密封外包体的内部呈真空状态的耐热真空绝热材。
背景技术
作为一例,在平板显示器件用的玻璃基板的制造工序中包含对作为处理物的玻璃基板在预定的温度(例如,220℃~230℃的程度)下进行加热的热处理。在该热处理中,用到一种加热装置,该加热装置具有用耐热绝热材构成壁面的加热室,使容纳了处理物的加热室内升温到适于处理物热处理的温度。
在加热装置中,随着加热室内的温度上升,耐热绝热材的外面的温度也会上升,不仅设置加热装置的室内的环境恶化,而且加热室的温度分布变得不均匀,同时热损失变大。另一方面,加热室的壁面使用的陶瓷棉、石棉等普通耐热绝热材绝热性能不充分,如果要想通过加厚加热室的壁面来缓和外面的温度上升,就会招致加热装置的大型化。
因此,提出了一种加热装置,该加热装置在构成加热室的壁面的耐热绝热材的外侧,配置了绝热性能优异的真空绝热材(参照例如专利文献1)。但是,民用电气设备上使用的真空绝热材是将容纳了绝热材成形体的、热熔接性片材的袋状容器的内部进行真空排气后密封而成的东西,如果配置在升温到几十~100℃的程度的热处理用加热装置的外面,袋状容器就会熔融而破裂,不能保持真空状态。
因此,在专利文献1所公开的加热装置中是用包含金属铝层的,并且是2~6μm波长的红外线的反射率为50%以上、6~14μm波长的红外线的反射率为20%以下的热熔接性片材构成内部为真空状态的袋状容器,确保耐热性和绝热性。
专利文献1:特开2007-093157号公报
发明内容
发明打算解决的课题
但是,在专利文献1所公开的构成中,因为配置在壁面外侧的耐热真空绝热材使用了热熔接性片材的袋状容器,所以不能适用于壁面的外面温度超过100℃的加热装置。而如果在壁面的外侧配置该真空绝热材,壁面和袋状容器的边界面的温度就会显著上升,结果很容易超过100℃的情况也不少见。因此,可考虑由金属制的外包体来构成耐热真空绝热材。
然而,当对于金属制的外包体,和专利文献1所公开的构成一样,用相同的材料形成内侧面和外侧面时,由于和壁面的外面接触的内侧面与露出在外部的外侧面的温度差,而产生耐热真空绝热材朝着内侧凸出的热变形。因此,存在以下的问题:壁面的外面和耐热真空绝热材的内侧面之间形成向外部开放的间隙,加热室的绝热性降低。
本发明的目的在于提供一种加热装置用的耐热真空绝热材,该耐热真空绝热材用线膨胀系数比外侧面的材料的线膨胀系数小的材料构成外包体的内侧面,防止内侧面和外侧面的热变形量产生大的差,使得壁面的外面和耐热真空绝热材的内侧面之间不会形成开放的间隙,能够保持加热室的绝热性。
用于解决课题的方案
本发明具有由第一构件和第二构件构成的外包体和芯材。第一构件由薄板状材料构成,配置在高温侧。第二构件由薄板状材料构成,配置在低温侧。第一构件由线膨胀系数比第二构件的线膨胀系数小的材料构成。外包体是将第一构件和第二构件的周围互相接合,并对内部进行真空排气后进行密封。芯材容纳在外包体的内部。
在该构成中,因为配置在高温侧的第一构件的线膨胀系数小于配置在低温侧的第二构件的线膨胀系数,所以,与第一构件和第二构件由相同的材质构成时相比,因高温侧和低温侧的温度差而产生的第一构件的热变形量和第二构件的热变形量之差小。按照高温侧和低温侧的温度差,适当地选择第一构件和第二构件的材质,即可使得温度上升后的第一构件和第二构件的长度大致相等,外包体不会在厚度方向变形。
在上述构成中,也可以用薄板状金属材料构成第一构件和第二构件。此时,也可以将第一构件和第二构件的周围熔接而形成外包体。从而,外包体不会在100℃的程度的温度下熔融,而能够得到高的耐热性。例如,可以用线膨胀系数为11×10-6/℃的金属材料构成第一构件,用线膨胀系数为17×10-6/℃的金属材料构成第二构件。
根据该发明,高温侧的内侧面的伸展不会大于低温侧的外侧面的伸展,从而可防止产生朝着高温侧凸出的热变形,能够保持绝热性。
附图说明
图1是适用了本发明的实施方式所涉及的耐热真空绝热材的加热装置的剖视图。
图2是适用了比较例的耐热真空绝热材的加热装置的剖视图。
图3(A)~(C)是表示本发明的实施方式所涉及的耐热真空绝热材的制造工序的一例的图。
符号说明
1 耐热真空绝热材
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