[发明专利]MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端

权利要求书

1、一种MEMS器件，包括：

衬底；

支撑单元，其设置在所述衬底上；

固定电极，其设置在所述衬底上；

致动器，其包括第一电极、形成在所述第一电极上的第一压电膜以及形成在所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及

止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线之上，并且设置在所述衬底上，以便面对所述第一电极。

2、根据权利要求1所述的器件，其中，从所述支撑单元到所述止动器单元的距离大于从所述止动器单元到所述固定电极的距离。

3、根据权利要求1所述的器件，其中，所述致动器还包括形成在所述第二电极上的第二压电膜和形成在所述第二压电膜上的第三电极。

4、根据权利要求1所述的器件，还包括：

第一接触电极，其设置在所述衬底上；以及

第二接触电极，其设置在所述致动器上，以便面对所述第一接触电极，

其中：

所述止动器单元设置在所述支撑单元和所述固定电极之间；并且

所述第一接触电极设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的所述直线上，并且设置在所述固定电极的与所述止动器单元相反的一侧上。

5、根据权利要求1所述的器件，还包括：

第一接触电极，其设置在所述衬底上；以及

第二接触电极，其设置在所述致动器上，以便面对所述第一接触电极，

其中：

所述固定电极设置在所述支撑单元和所述止动器单元之间；并且

所述第一接触电极设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的所述直线上，并且设置在所述固定电极的与所述止动器单元相反的一侧上。

6、根据权利要求1所述的器件，还包括：

第一接触电极，其设置在所述衬底上的所述止动器单元和所述固定电极之间；以及

第二接触电极，其设置在所述致动器上，以便面对所述第一接触电极。

7、根据权利要求4所述的器件，其中，从所述支撑单元到所述止动器单元的距离大于从所述止动器单元到所述第一接触电极的距离。

8、一种MEMS器件，包括：

衬底；

第一和第二支撑单元，其设置在所述衬底上，彼此相隔一定距离；

第一固定电极，其设置在所述衬底上的所述第一支撑单元和所述第二支撑单元之间；

第二固定电极，其设置在所述衬底上的所述第一固定电极和所述第二支撑单元之间；

第一接触电极，其设置在所述第一固定电极和所述第二固定电极之间；

第一止动器单元，其设置在连接所述第一支撑单元和所述第二支撑单元的直线之上，并且设置在所述衬底上的所述第一固定电极的与所述第一接触电极相反的一侧上；

第二止动器单元，其设置在连接所述第一支撑单元和所述第二支撑单元的直线之上，并且设置在所述衬底上的所述第二固定电极的与所述第一接触电极相反的一侧上；

致动器，其包括第一电极、形成在所述第一电极上的第一压电膜、以及形成在所述第一压电膜上的第二电极，所述致动器具有通过所述第一和第二支撑单元固定到所述衬底上的两个端部；以及

第二接触电极，其设置在所述致动器上，以便面对所述第一接触电极。

9、根据权利要求8所述的器件，其中：

从所述第一支撑单元到所述第一止动器单元的距离大于从所述第一止动器单元到所述第一接触电极的距离；并且

从所述第二支撑单元到所述第二止动器单元的距离大于从所述第二止动器单元到所述第一接触电极的距离。

10、根据权利要求8所述的器件，其中，所述致动器还包括形成在所述第二电极上的第二压电膜和形成在所述第二压电膜上的第三电极。