[发明专利]载物台装置

说明书

发明领域

本发明涉及具有被基座支承、且在该基座上沿作为前进方向的一个轴方向移动的起重机架部的载物台装置。

背景技术

以往，作为被用作液晶板或半导体的各种基板的制造装置使用的载物台装置，知道如下的载物台装置，具有：制罐结构的基座，连接多个罐材而组建；导轨，设置于基座上的两侧；以及，梁，具有被沿导轨导引的导引滑块；其中，梁沿着导轨移动。(例如，参照专利文献1)

【专利文献1】日本专利特开2006-269509号公报

但是，在上述载物台装置中，在为实现伴随近年来液晶显示器的大型化等的装置的大型化时，存在不能将其装载在运输用车辆等上面的情况。在此，考虑到使用特殊车辆进行运输，但会导致成本庞大。而且，由于用于组建基座的罐材也加长，因此有在加工装置中实施机械加工会变困难的情况。

发明内容

本发明是为了解决以上课题的发明，目的在于提供一种载物台装置，即使在为实现装置的大型化时，也可以不使用特殊车辆而能够进行运输，并且可以容易进行基座的机械加工。

本发明的载物台装置具有被基座支承、且在该基座上沿作为前进方向的一个轴方向移动的起重机架部，基座具有在与起重机架部的移动方向垂直的水平方向上能够分割的结构。

根据这种结构，通过在与起重机架部的移动方向垂直的水平方向上分割基座，可以将装置分割后装载至运输车。由此，即使在为实现装置的大型化时，也可以不使用特殊车辆而能够进行运输。而且，在对基座进行机械加工时，由于可以对每个被分割的部分分别进行加工，因此可以容易进行机械加工。

在此，由于在工件的载置区域形成有基座的分型面时需要将工件与基座一起分割，因此优选基座的分型面形成在除了载置区域以外的区域。由此，可以不用分割工件而将装置分割。

在此，作为用于沿移动方向导引起重机架部的构件并在移动方向上延伸的导轨，由于是对基座的组装精度有特殊要求的部分，因此，当导轨被设置在载物台装置的主体部一侧与分型部一侧中的分型部一侧时，调整组装时的定位精度的作业是很费事的。因此，优选基座的分型面形成在一对导轨外侧的区域。采用该种结构时，由于导轨设置在载物台装置的主体部一侧，因此在组装时可以容易进行使载物台装置的分型部连接到主体部时调整定位精度的作业。

而且，优选在起重机架部设置沿导轨被导引的一对导向部，起重机架部具有在与移动方向垂直的水平方向上能够分割的结构，其分型面形成于导向部的外侧区域。采用该种结构时，由于与导轨同样作为组装精度被特别要求的部分的导向部设置在载物台装置的主体部一侧，因此在组装时可以容易进行使载物台装置的分型部连接到主体部时调整定位精度的作业。

另外，优选起重机架部被支承为可绕沿铅直方向延伸的中心轴线旋转。采用该种结构时，通过不用分割起重机架部，使起重机架部绕中心轴线旋转，可以把向导轨外侧露出的起重机架部的端部收藏于内侧。由此，加之上述作用，可以减少需要进行位置调整的地方，可以容易进行装置的组装。

这样，根据本发明，即使为了实现装置的大型化时，也可以不使用特殊运输车而能够进行运输，并且容易进行基座的机械加工。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式涉及的载物台装置的立体图。

图2是表示图1所示的载物台装置的驱动部及其附近的局部放大立体图。

图3是在图1所示的载物台装置中设置了工件平台的立体图。

图4是图3所示的载物台装置的局部主视图。

图5是本发明的第2实施方式涉及的载物台装置的局部主视图。

图6是本发明的第3实施方式涉及的载物台装置的局部主视图。

图7是表示其他的分型面的图，图7(a)是表示将分型面做成凹坑(inlow)型时的图，图7(b)是表示将分型面做成倾斜面时的图。

标记说明

1，21，31                  载物台装置

2                          底座(基座)

2e                         载置区域

3                          支承座

9                          起重机架部

12，13，22，32，50，51     分型面

15                         工件平台(工件)

具体实施方式